楚赟精工科技(上海)有限公司张志明获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117646194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311801911.X，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权气相沉积设备是由张志明;徐春阳设计研发完成，并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种气相沉积设备，通过设置反应腔体和设在反应腔体内并装载有基板支撑单元的承载装置；承载装置内设有底部开口内腔体、围设于内腔体的外腔体，以及围设于内腔体的至少2条导气流道；内腔体内悬设有气驱装置，气驱装置顶部转动连接基板支撑单元底部；承载装置内还设有与外腔体相通的进气流道；至少2条导气流道连通外腔体，经内腔体侧壁与内腔体相通并配置为向内腔体内提供旋转气流以驱动气驱装置转动，延长了驱动气体向上逸出的气路，且驱动气体在驱动气驱装置转动后绝大部分能从内腔体的底部开口排出，从而能够减少或阻止驱动气体的向上逸出对成膜均匀性的影响。
本发明授权气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其特征在于，包括： 反应腔体和设在反应腔体内并装载有基板支撑单元的承载装置； 所述承载装置内设有底部开口的内腔体、围设于所述内腔体的外腔体，以及围设于所述内腔体的至少2条导气流道； 所述内腔体内悬设有气驱装置，所述气驱装置顶部转动连接所述基板支撑单元底部； 所述承载装置内还设有与所述外腔体相通的进气流道； 所述至少2条导气流道连通所述外腔体，经所述内腔体侧壁与所述内腔体相通并配置为向所述内腔体内提供旋转气流以驱动所述气驱装置转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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