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龙图腾网获悉济南东汉半导体设备有限公司申请的专利一种半导体等离子体工艺监测装置及监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118136484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410255484.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种半导体等离子体工艺监测装置及监测方法是由李涛;陈磊;胡玉麒设计研发完成，并于2024-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体等离子体工艺监测装置及监测方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体工艺领域，具体涉及一种半导体等离子体工艺监测装置及监测方法。本发明提供的半导体等离子体工艺监测装置，包括信号取样部、信号分析部、正向传递系数监测部、反向传递系数监测部和温度监测部，所述信号取样部设置正向信号取样端、反向信号取样端和两个射频接头，所述正向传递系数监测部的信号输入端与所述正向信号取样端相连，所述反向传递系数监测部的信号输入端与所述反向信号取样端相连，所述正向传递系数监测部、反向传递系数监测部和温度监测部的信号输出端分别与所述信号分析部相连。本发明的监测装置可实现实时采集整体传输线路上的传递系数的数值并进行校准分析，从而实现高准确性和稳定性监测，同时组成器件成本低廉，兼顾了成本和性能。

本发明授权一种半导体等离子体工艺监测装置及监测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体等离子体工艺监测装置，其特征在于，包括信号取样部、信号分析部、正向传递系数监测部、反向传递系数监测部和温度监测部，所述信号取样部设置正向信号取样端、反向信号取样端和两个射频接头，所述信号取样部中设置取样结构利用电磁感应将能量信号取样为电压信号，所述正向传递系数监测部的信号输入端与所述正向信号取样端相连，所述反向传递系数监测部的信号输入端与所述反向信号取样端相连，所述正向传递系数监测部、反向传递系数监测部和温度监测部的信号输出端分别与所述信号分析部相连； 所述正向传递系数监测部包括依次相连的正向取样电路、正向传递系数滤波电路、正向检波电路和第一模数转换器，所述正向取样电路的信号输入端与所述正向信号取样端相连，所述第一模数转换器的信号输出端与所述信号分析部相连； 所述反向传递系数监测部包括依次相连的反向取样电路、反向传递系数滤波电路、反向检波电路和第二模数转换器，所述反向取样电路的信号输入端与所述反向信号取样端相连，所述第二模数转换器的信号输出端与所述信号分析部相连； 所述温度监测部包括依次连接的温度传感器、温度滤波电路和第三模数转换器，所述第三模数转换器的信号输出端与所述信号分析部相连。

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