浙江大学杭州国际科创中心党超群获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利非晶态薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119465026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411666729.2，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权非晶态薄膜及其制备方法和应用是由党超群;经佩佩;杨琛;居冰峰设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本非晶态薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种非晶态薄膜及其制备方法和应用，所述非晶态薄膜为AlSiC非晶态薄膜，由Al、Si以及C组成，其制备方法包括以下步骤：提供靶材，采用磁控溅射的方法在基体上沉积所述非晶态薄膜，所述的非晶态薄膜可以用作表面防护材料。本发明通过采用Al、Si和C三种原子无序排列成AlSiC非晶态薄膜，使得AlSiC非晶态薄膜兼具高强度、高硬度和高韧性，使非晶态薄膜实现了强韧一体化，进而，将本发明的AlSiC非晶态薄膜作为表面防护材料使用时，防护效果好，使用寿命更久。同时，本发明采用磁控溅射的方法制备AlSiC非晶态薄膜，沉积速率稳定，沉积得到的AlSiC非晶态薄膜成分均匀、组织致密、缺陷少，且同基体结合良好，附着力强。
本发明授权非晶态薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种非晶态薄膜，其特征在于，所述非晶态薄膜为AlSiC非晶态薄膜，由Al、Si以及C组成，所述AlSiC非晶态薄膜中Al、Si以及C三种原子无序排列，以原子分数计，所述非晶态薄膜由20.6%-22.8%的Al、33.1%-34.7%的Si和42.5%-46.3%的C组成。
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