深圳大学何俊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利微孔阵列光栅温度压力传感器及其制备方法和测试标定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119533532B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411432418.X,技术领域涉及:G01D5/353;该发明授权微孔阵列光栅温度压力传感器及其制备方法和测试标定方法是由何俊;吴嘉烽;徐锡镇;王义平设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本微孔阵列光栅温度压力传感器及其制备方法和测试标定方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微孔阵列光栅温度压力传感器,包括光波导以及微孔阵列光栅和微腔阵列光栅,所述光波导内部具有光传输通道,所述微孔阵列光栅和所述微腔阵列光栅并列形成于所述光波导的光传输通道中,所述微孔阵列光栅与外界环境连通,所述微腔阵列光栅与外界环境隔绝。该微孔阵列光栅温度压力传感器可避免环境温度和环境压力在测量时的相互影响,以实现对不同环境温度和不同环境压力进行同时测量。本发明还提供上述微孔阵列光栅温度压力传感器的制备方法和测试标定方法。
本发明授权微孔阵列光栅温度压力传感器及其制备方法和测试标定方法在权利要求书中公布了:1.一种微孔阵列光栅温度压力传感器,其特征在于,包括光波导以及微孔阵列光栅和微腔阵列光栅,所述光波导内部具有光传输通道,所述微孔阵列光栅和所述微腔阵列光栅并列形成于所述光波导的光传输通道中,所述微孔阵列光栅与外界环境连通,所述微腔阵列光栅与外界环境隔绝;所述微孔阵列光栅包括多个开放微孔,各个开放微孔沿所述光波导的光传输方向分布且与外界环境连通;所述微腔阵列光栅包括多个封闭微腔,各个封闭微腔沿所述光波导的光传输方向分布且与外界环境隔绝;所述封闭微腔由所述光波导的内部介质经诱导而发生局部折射率变化形成,这部分内部介质被完全烧蚀掉或者折射率发生永久变化;所述封闭微腔为空心微腔,其内部为真空、空气或气化后的介质材料,或者所述封闭微腔为实心微腔,其内部为折射率变化后的介质材料;所述微孔阵列光栅具有第一中心波长,所述微腔阵列光栅具有第二中心波长;通过在所述光波导中同时制备所述微孔阵列光栅和所述微腔阵列光栅,所述微孔阵列光栅和所述微腔阵列光栅分别对外界环境的空气折射率和环境温度进行传感检测,最终根据外界环境的空气折射率和环境温度计算出环境压力,所述微腔阵列光栅在传感检测环境温度时,不受环境压力影响,而所述微孔阵列光栅在传感检测环境压力时,利用所述微腔阵列光栅检测到的环境温度对环境压力进行计算,避免了环境温度和环境压力在测量时的相互影响。
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