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深圳市新凯来工业机器有限公司李双获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利深紫外物镜及光学系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119620360B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411998993.6,技术领域涉及:G02B13/14;该发明授权深紫外物镜及光学系统是由李双;吴巨帅设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

深紫外物镜及光学系统在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种深紫外物镜及光学系统。所述深紫外物镜包括前组透镜及后组透镜;所述前组透镜靠近物面设置,所述前组透镜具正屈光度;所述后组透镜具负屈光度。所述前组透镜包括折射透镜与至少一个衍射光学元件,以消除色差。

本发明授权深紫外物镜及光学系统在权利要求书中公布了:1.一种深紫外物镜30,其特征在于,所述深紫外物镜30包括前组透镜33及后组透镜31;所述前组透镜33具正屈光度;所述后组透镜31具负屈光度; 所述前组透镜33包括折射透镜与至少一个衍射光学元件201; 所述后组透镜31包括至少一个折射透镜及光阑401,所述光阑401与所述后组透镜31的折射透镜沿所述深紫外物镜30的光轴排列,所述后组透镜31的至少一个折射透镜包括第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第四透镜L4、第五透镜L5及第六透镜L6,沿所述深紫外物镜30的光轴方向,所述第二透镜L2位于所述第一透镜L1与所述第三透镜L3之间,所述第三透镜L3位于所述第二透镜L2与所述第四透镜L4之间,所述第四透镜L4位于所述第三透镜L3与所述光阑401之间,所述光阑401位于所述第四透镜L4与所述第五透镜L5之间,所述第五透镜L5位于所述第四透镜L4与所述第六透镜L6之间; 所述前组透镜33中的折射透镜包括第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9及第十透镜L10; 沿所述深紫外物镜30的光轴方向,所述第七透镜L7设于所述前组透镜33中最靠近所述后组透镜31的一侧,所述第八透镜L8位于所述第七透镜L7与所述第九透镜L9之间,所述第九透镜L9位于所述第八透镜L8与所述第十透镜L10之间;所述深紫外物镜30具有光焦度的折射透镜的数量为10片; 其中,所述第七透镜L7与所述第八透镜L8之间设有所述衍射光学元件201,所述深紫外物镜30的面型参数如下: , 或者,所述第七透镜L7朝向所述后组透镜31的一侧、所述第七透镜L7与所述第八透镜L8之间均设有至少一个所述衍射光学元件201,所述深紫外物镜30的面型参数如下: 。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司,其通讯地址为:518100 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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