新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种照明系统及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119668045B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411870507.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种照明系统及光刻机是由张琪;符友银;张曼妮设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种照明系统及光刻机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种照明系统及光刻机，涉及半导体设备技术领域，本申请的照明系统，包括光源模块以及依次设置于光源模块出光侧的匀光模块、狭缝板和中继模块，光源模块出射的光线依次经过匀光模块、狭缝板上的狭缝和中继模块后照射至目标面上，其中，匀光模块包括沿光路依次间隔设置的第一匀光棒、散射元件和第二匀光棒，光源模块出射的光线依次经过第一匀光棒的匀光、散射元件的散射以及第二匀光棒的匀光，中继模块用于增大光线的照明视场。本申请提供的照明系统及光刻机，能够在缩短照明系统体积的基础上，提高照明系统照明的均匀性。
本发明授权一种照明系统及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种照明系统，其特征在于，包括光源模块以及依次设置于所述光源模块出光侧的匀光模块、狭缝板和中继模块，所述光源模块出射的光线依次经过匀光模块、狭缝板上的狭缝和中继模块后照射至目标面上，其中，所述匀光模块包括沿光路依次间隔设置的第一匀光棒、散射元件和第二匀光棒，所述光源模块出射的光线依次经过所述第一匀光棒的匀光、散射元件的散射以及第二匀光棒的匀光，所述中继模块用于增大光线的照明视场； 所述散射元件为散光片，所述第一匀光棒和所述第二匀光棒之间的距离小于5mm。
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