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龙图腾网获悉复旦大学;中山亚威光电科技有限公司申请的专利一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119985504B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510280324.3，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统是由郑倩茹;张祥朝;胡东阳设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统在说明书摘要公布了：本发明属于光学精密测量技术领域，具体为一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统。本发明将暗场散射与衍射相位显微技术相结合，作为两个光学成像通道；两种成像模式的光路兼容性与同步；通过光学系统校准与优化，实现多模态图像的高精度采集与对齐；利用标准样品对系统进行灵敏度与分辨率标定，确保检测性能满足预设要求；对待测晶圆样品进行双通道同步成像，分别获取暗场散射图像与衍射相位图像；通过图像算法对多模态数据进行联合分析，提取缺陷的尺寸、深度及结构信息，并生成高精度的缺陷检测报告；具体包括暗场散射成像模块、衍射相位显微成像模块、图像处理单元；本发明可有效克服单一成像模式的缺陷，显著提升系统的检测精度与鲁棒性。

本发明授权一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统在权利要求书中公布了：1.一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统，其特征在于，将暗场散射与衍射相位显微技术相结合，作为两个光学成像通道；两个光学成像通道的光路兼容与同步；通过光学系统校准与优化，实现多模态图像的高精度采集与对齐；利用标准样品对系统进行灵敏度与分辨率标定，确保检测性能满足预设要求；对待测晶圆样品进行双通道同步成像，分别获取暗场散射图像与衍射相位图像；通过图像算法对多模态数据进行联合分析，提取缺陷的尺寸、深度及结构信息，并生成高精度的缺陷检测报告；具体包括：暗场散射成像模块，衍射相位显微成像模块，图像处理单元；其中： 所述暗场散射成像模块，用于采集晶圆表面缺陷的散射光信号； 所述衍射相位显微成像模块，用于获取缺陷的相位信息及深度结构； 所述图像处理单元，用于对采集到的图像进行处理与分析，提取缺陷的尺寸、深度及其结构特征，还实现了对两个光路获取的图像进行配准，以确保图像在空间上的对齐； 其光路中： 光束首先由455nm波长的激光器发出，经过偏振片、双胶合透镜L1和L2组成的扩束系统后，进行扩束并准直，透镜L1与L2之间还加入一个针孔，以提升光束空间相干性；扩束后的光束经过透镜L5聚焦在物镜焦点处，其间，透镜L2与L5之间安装有两个二向色镜，二向色镜1用于反射455nm波长的光，而二向色镜2允许455nm波长的光透过，使不同波长的光束分离，实现光束的定向传输，使得455nm波长的光能够准确地照射至透镜L5上；透镜L5和物镜之间还有一个反射镜，以折叠光路；聚焦后的光束通过物镜进入显微系统，变为平行光，并垂直入射到样品表面；显微系统由显微物镜和配套的管镜L7组成，并且在物镜和管镜L7之间还设有二向色镜3，该二向色镜3用于反射455nm波长的光，以实现不同波长的光束分离；样品经过前述光学系统后被成像；光束聚焦至光栅，在光栅处产生多个方向的衍射副束，从而实现光束的空间复制；然后通过空间滤波器使一级衍射光与零级光发生干涉，并在相机CMOS2上记录干涉图像；其中，在空间滤波器与相机CMOS2之间还设有两个反射镜3和反射镜4，以实现折叠光路，从而有效提取样品的相位信息并进行成像；在显微系统的像面和相机之间插入有一个由透镜L8和L9组成的4f系统； 基于此，考虑经过光栅后0级衍射光和1级衍射光的光场： Ux,y＝Uox,y+U1x,yexpiβx，1 其中，U0为0级衍射光的复振幅，U1为1级光复振幅且与带有衍射角的指数相位倾斜因子相乘，i为虚数单位，1级衍射角的大小为β＝2πΛ，其中Λ为光栅常数； 经过由透镜L8和L9组成的4f系统后相当于进行两次傅里叶变换，其空间坐标在x方向和y方向均发生翻转，为方便表示，令： 其中，M4f为4f系统的放大率，A0为0级光光强，A1为1级光光强，α为归一化因子；则得到相机靶面处捕获的干涉强度为： 式中，Ucx,y为相机处光场，Uc*x,y为其共轭；通过相位调解恢复出干涉图Icx',y'，并去除载频β；φ1为恒定常数；通过将背景高度设为0去除，得到的结果φ0x',y'就隐含样品的表面形貌或物体结构信息。

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