四川大学;西南交通大学刘进伟获国家专利权
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龙图腾网获悉四川大学;西南交通大学申请的专利一种可逆调节Y2O3表面原子级机械化学去除行为的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120328601B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510501937.5，技术领域涉及：C01F17/218；该发明授权一种可逆调节Y2O3表面原子级机械化学去除行为的方法是由刘进伟;肖晨;刘大伟;夏高誉;刘力允;余德平;张鹏;贺裕鹏设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可逆调节Y2O3表面原子级机械化学去除行为的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可逆调节Y2O3表面原子级机械化学去除行为的方法，属于原子级精度材料去除技术领域。包括S1、使Y2O3经紫外线辐照处理，得到初处理样品；S2、在大气环境下，向Al2O3针尖施加一定的载荷并对初处理样品的表面进行摩擦，摩擦过程中实现机械化学去除行为。该方法利用紫外线辐照Y2O3表面，促使Y2O3中Y元素的电子跃迁形成色心，使得Y2O3表面具有机械化学活性；然后在大气环境中，通过向Al2O3针尖施加一定的载荷摩擦Y2O3表面，可以在该摩擦界面产生机械化学反应，形成Y‑O‑Al键桥，进而实现原子级精度的材料去除行为。由于施加的应力作用于平面是纯弹性变形，无法造成下层平面破坏，从而保证下层表结构的完整性。
本发明授权一种可逆调节Y2O3表面原子级机械化学去除行为的方法在权利要求书中公布了：1.一种可逆调节Y2O3表面原子级机械化学去除行为的方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、使Y2O3经紫外线辐照处理，得到初处理样品； S2、在大气环境下，将初处理样品放置于亚纳米位移精度的加工设备上，并将针尖为Al针尖的扫描探针安装于亚纳米位移精度的加工设备上，根据扫描出的材料表面形貌，按照设定的加工轨迹方向进行刻划加工； 步骤S1中，辐照处理时间≥30min； 步骤S1中，UV波长为200～300nm。
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