长春理工大学曹嘉冀获国家专利权
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龙图腾网获悉长春理工大学申请的专利一种基于动态聚焦的飞秒激光微纳加工装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120533257B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510934762.7,技术领域涉及:B23K26/0622;该发明授权一种基于动态聚焦的飞秒激光微纳加工装置是由曹嘉冀;秦旭磊;于占江;王佳琦;郑海艳;曹献文;侯威帆;许金凯;于化东设计研发完成,并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于动态聚焦的飞秒激光微纳加工装置在说明书摘要公布了:本发明涉及飞秒激光应用技术领域,具体涉及一种基于动态聚焦的飞秒激光微纳加工装置,包括用于安装待加工物件的加工台和按照加工轨迹进行移动的驱动机构,加工台上方设有用于产生飞秒激光脉冲的激光器,沿飞秒激光脉冲的照射方向上依次设有转动模块和缩束机构;转动模块包括用于按加工轨迹照射的第一光路系统和用于对待加工物件形成探测照射的第二光路系统;缩束机构用于调节光束直径,以及用于形成不同偏振态的偏振光;还设有用于获取实时图像数据的CCD相机;还包括控制模块,控制模块用于基于实时图像对缩束机构和激光器的功率进行调节处理;本发明用于根据复杂加工任务中的加工轨迹控制需要,自动调节控制参数,保障加工精度。
本发明授权一种基于动态聚焦的飞秒激光微纳加工装置在权利要求书中公布了:1.一种基于动态聚焦的飞秒激光微纳加工装置,包括用于安装待加工物件的加工台6,加工台6底部设有用于驱动加工台6按照加工轨迹进行移动的驱动机构,加工台6上方设有用于产生飞秒激光脉冲的激光器1;其特征在于,沿飞秒激光脉冲的照射方向上依次设有转动模块2和缩束机构4; 转动模块2包括用于对加工台6上的待加工物件形成加工轨迹照射的第一光路系统和用于对待加工物件形成探测照射的第二光路系统,第二光路系统以第一光路系统为中心呈环形布置,第一光路系统和第二光路系统之间设有第一分光镜3和反射镜31,第一分光镜3一侧固定连接有用于调节第一分光镜3转动方向的动力件; 第一光路系统以激光器1和缩束机构4作为光路传输路径,缩束机构4用于调节光束直径,以及用于形成不同偏振态的偏振光; 第一分光镜3位于激光器1与缩束机构4之间,第一分光镜3用于将飞秒激光脉冲进行分光成两束光线,反射镜31与飞秒激光脉冲的照射方向呈45度角布置,反射镜31用于将一束光线反射成与飞秒激光脉冲平行的探测光线;第二光路系统包括位于探测光线上的第二分光镜32,探测光线上设有用于第二分光镜32的折射方向上设有用于获取实时图像数据的CCD相机7; 还包括与缩束机构4和CCD相机7电连接的控制模块,CCD相机7的镜头朝向加工台6安装待加工物件的位置,CCD相机7与反射镜31之间设有滤光片; 控制模块8用于基于实时图像数据获取第一光路系统对应的切割点位置和第二光路系统对应的预加工点位置,基于加工轨迹的时间前后顺序向动力件发送调节指令,获取预加工点位置对应的对比图像数据,再基于对比图像数据转换为对应的光束位置,将光束位置与加工轨迹进行一致性对比,基于一致性结果对缩束机构4和激光器1的功率进行调节处理。
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