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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利一种真空晶圆检测平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120600651B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510740929.6，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种真空晶圆检测平台是由安俊杰设计研发完成，并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空晶圆检测平台在说明书摘要公布了：本发明涉及一种真空晶圆检测平台，属于半导体检测设备技术领域。本发明提供了一种真空晶圆检测平台，主要包括运动输出模块、宏动顶升模块、顶升组件和晶圆平台，将能够实现上下宏动的模块和实现晶圆顶升的模块集合到一个滚珠丝杠上，通过在滚珠丝杠上安装包含相反方向的楔形块的宏动块和顶升块分别与顶板和顶升组件相配合，实现了仅需一个电机作为驱动源即可同时驱动宏动块和顶升块的同步运动，进而能够作出宏动检测平台或顶升晶圆两种不同动作。不仅节省了大量空间和调试时间，而且也能够确保运动的稳定性。

本发明授权一种真空晶圆检测平台在权利要求书中公布了：1.一种真空晶圆检测平台，其特征在于，包括： 运动输出模块2，包括安装于底座2210的电机2101和平面导轨，所述电机2101连接有滚珠丝杠2102，所述滚珠丝杠2102上依次安装有第一水平滑块2204、第二水平滑块2203、第三水平滑块2202，所述第一水平滑块2204和第三水平滑块2202上分别安装有第一宏动块2207和第二宏动块2205，所述第二水平滑块2203上安装有顶升块2206，所述第一宏动块2207和第二宏动块2205均具有倾斜方向相同的宏动楔块，所述顶升块2206具有与宏动楔块的倾斜方向相反的顶升楔块；在滚珠丝杠2102的驱动下所述第一水平滑块2204、第二水平滑块2203、第三水平滑块2202能够同步沿同一方向作直线运动； 宏动顶升模块3，包括顶板3120以及连接于顶板3120边缘的压电模组3301和减震模组3302，所述顶板3120设置有两个分别与第一宏动块2207和第二宏动块2205位置对应的顶升连接件3106，两个所述顶升连接件3106分别设置有能够与两个宏动楔块配合的第一轴承3201；所述顶板3120还留有供顶升组件4穿过的孔位，所述顶升组件设置有能够与顶升楔块配合的第二轴承4210； 晶圆平台1，连接所述顶升组件4。

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