买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种干燥槽内多尺寸晶圆分离装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120709194B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510879518.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种干燥槽内多尺寸晶圆分离装置及方法是由黄自柯;纪心宇;王哲哲;高峰;汪恺设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干燥槽内多尺寸晶圆分离装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种干燥槽内多尺寸晶圆分离装置及方法，该装置包括载具移动机构、刀具移动机构、直线驱动机构、凸轮连杆机构和晶圆分离盖。载具移动机构包括连接平台和设置在连接平台下方的承载平台，承载平台上设置有两个可沿第一水平方向移动调节的载具托架，两个载具托架配合以承托不同宽度的载具篮，连接平台和承载平台之间设置有电缸模组。刀具移动机构包括设置在连接平台上方的分离平台，分离平台上设置有两个用于分离不同尺寸晶圆组的分离刀具，分离刀具可沿与第一水平方向垂直的第二水平方向水平伸缩。晶圆分离盖可移动的设置在载具篮上方，用于承接分离的晶圆组，晶圆分离盖内设置有两组对称设置且用于分隔晶圆组的分隔板。

本发明授权一种干燥槽内多尺寸晶圆分离装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种干燥槽内多尺寸晶圆分离装置，其特征在于，包括： 载具移动机构，包括连接平台和设置在所述连接平台下方的承载平台，所述承载平台上设置有两个可沿第一水平方向移动调节的载具托架，两个所述载具托架配合以承托不同宽度的载具篮，所述连接平台和所述承载平台之间设置有电缸模组； 刀具移动机构，包括设置在所述连接平台上方的分离平台，所述分离平台上设置有两个用于分离不同尺寸晶圆组的分离刀具，所述分离刀具可沿与第一水平方向垂直的第二水平方向水平伸缩； 直线驱动机构，用于带动所述分离平台沿竖向往复移动，包括承载架，所述载具移动机构与所述刀具移动机构均设置在所述承载架上； 凸轮连杆机构，设置在所述承载架上，用于与所述直线驱动机构配合带动所述载具移动机构和所述刀具移动机构沿竖向往复移动以使晶圆组与所述载具篮分离； 晶圆分离盖，可移动的设置在所述载具篮上方，用于承接分离的晶圆组，所述晶圆分离盖内设置有两组对称设置且用于分隔晶圆组的分隔板，两组所述分隔板可沿第一水平方向调节间距，同一组内多个所述分隔板可沿第二水平方向等间距调节； 光学识别系统，设置在所述晶圆分离装置顶部及侧部，用于识别晶圆组的晶圆直径、厚度和间距以及所述载具篮的尺寸和位置高度； 控制系统，用于根据所述光学识别系统的识别信息对所述载具托架、所述分离刀具和所述晶圆分离盖进行尺寸及位置调节； 所述晶圆分离盖两侧对应设置有可沿第一水平方向限位移动的支撑杆，两组所述分隔板对应套置在两个所述支撑杆上，所述晶圆分离盖两侧沿第二水平方向对应设置有受控转动的调节轴，所述调节轴上沿其轴线方向设置有若干个螺旋槽，所述分隔板上设置有直线轴承，所述直线轴承侧部限位设置在所述螺旋槽内，所述调节轴与所述直线轴承配合以对同一组内多个所述分隔板进行等间距调节； 所述晶圆分离盖上沿第一水平方向设置有第二左右旋丝杆，所述第二左右旋丝杆的两个第二滑块上对应设置有调节电机，所述调节电机活动端与所述调节轴连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州冠礼科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区浒墅关开发区石林路189号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。