江西兆驰半导体有限公司谢志文获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种Micro LED外延石墨载盘制造方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120905771B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511416391.X，技术领域涉及：C30B23/02；该发明授权一种Micro LED外延石墨载盘制造方法及系统是由谢志文;张瀚;陈铭胜;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Micro LED外延石墨载盘制造方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MicroLED外延石墨载盘制造方法及系统，该方法包括：同步采集MicroLED晶圆的晶圆数据，构建晶圆坐标系；对同一位置坐标点对应的PL波长与COT波长进行加权计算，输出三维点云数据集并存储以得到目标数据；读取目标数据，提取晶圆坐标数据与波长差数据；确定出多个热场等级，并与对应颜色标识进行绑定，得到热场等级图；计算各个热场区域内热场分布的欧式距离相似度并进行分组，对应输出补偿策略数据；对石墨载盘的设计进行深度补偿，映射输出图纸数据；根据图纸数据对石墨载盘进行加工。本发明根据三维热场图协同设计，映射输出对应的三维设计图纸，并验证图纸形成闭环，能够实现晶圆热膨胀的实时补偿，有利于批量生产的进行。
本发明授权一种Micro LED外延石墨载盘制造方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种MicroLED外延石墨载盘制造方法，其特征在于，所述方法包括： 通过PL测试仪与COT测试机同步采集MicroLED晶圆的晶圆数据，并根据所述晶圆数据构建晶圆坐标系； 对所述晶圆坐标系中同一位置坐标点对应的PL波长与COT波长进行加权计算，输出三维点云数据集并存储以得到目标数据； 读取所述目标数据，根据所述目标数据提取晶圆坐标数据与波长差数据； 根据所述波长差数据，按照所述晶圆坐标数据确定出多个热场等级，并与对应颜色标识进行绑定，得到热场等级图； 计算所述热场等级图中各个热场区域内热场分布的欧式距离相似度并进行分组，对应输出补偿策略数据； 按照所述热场等级图与所述补偿策略数据，对所述石墨载盘的设计进行深度补偿，映射输出图纸数据； 根据所述图纸数据对所述石墨载盘进行加工，得到MicroLED外延石墨载盘。
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