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龙图腾网获悉泓浒(苏州)半导体科技有限公司申请的专利一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120985619B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511526429.9，技术领域涉及：B25J9/06；该发明授权一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法是由王彭;陈哲;黄伟兵;林坚设计研发完成，并于2025-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆技术领域，具体涉及一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法，采用机械臂组件及末端执行器执行动作，其中机械臂组件包括三个依次转动连接的执行手臂；末端执行器安装于距离基座最远的执行手臂的末端位置，方法如下：S1：设定安全区域使多个执行手臂在运动中始终处于安全区域内；S2：在安全区域内从边界逐渐向中心迭代每个点的坐标，并生成安全链路；S3：在一个安全链路中，末端执行器始终朝向站点位置，并使末端执行器的中心沿安全链路移动，计算每个点的相邻执行手臂之间的角度a、b、c以及执行手臂与末端执行器之间的角度d；S4：对步骤S3中的距离C进行遍历优化，并找到最优的C值；S5：根据最优C值获得最优时间。

本发明授权一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种多轨迹晶圆搬运机械手的控制方法，其特征在于，采用机械臂组件及末端执行器执行动作，其中机械臂组件包括三个依次转动连接的执行手臂，所述执行手臂自基座向所述末端执行器依次为前臂、中臂和小臂；末端执行器安装于距离所述基座最远的执行手臂的末端位置，并配置为能够绕连接处进行旋转运动； 所述方法如下： S1：安全区域设定：三个执行手臂在运动中始终处于安全区域内； S2：轨迹规划：在安全区域内从边界逐渐向中心迭代每个点的坐标，并生成安全链路；从三个障碍物终点P1,Q1,R1向原点O迭代，生成离散点集；通过计算每个点在三个障碍物侧边的投影的最小距离M，筛选安全路径点；随后通过SBPLX数值优化算法优化得到P1...Pn、Q1...Qn、R1...Rn三个不同的位置链路，并采用二次多项式对离散点进行局部拟合，生成光滑的安全链路曲线； S3：末端执行器路径规划：在一个安全链路中，末端执行器始终朝向站点位置，并使末端执行器的中心沿安全链路移动，计算每个点的相邻执行手臂之间的角度a、b、c以及小臂与末端执行器之间的角度d；选择PiPj、QiQj、RiRj距离原点O点最近点所在的链路；先示教或设计好小臂末端的坐标x，y及姿态Y，且前臂末端与小臂末端之间的距离为C时，各角度的计算公式如下: ; ; a：前臂与x轴的夹角； b：前臂与中臂之间的夹角； c：中臂与小臂之间的夹角； d：小臂与末端执行器之间的夹角； W：小臂末端坐标x,y与原点O的距离； B：小臂、中臂、前臂的长度； S4：最优C值计算：对步骤S3中的距离C进行遍历优化，并找到最优的C值； S5：根据最优C值获得最优时间：当末端执行器的最大速度、最大加速度及最大加加速大于阈值时，总时间增加50%，当末端执行器的最大速度、最大加速度及最大加加速小于阈值时，总时间减小50%。

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