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龙图腾网获悉东莞市友辉光电科技有限公司申请的专利曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120993681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511155135.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光设备是由余燕青;杜志航设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本曝光设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种曝光设备，属于曝光机领域，用于带状物料双面曝光，其包括掩模装置、两个输料装置和一对光照装置，所述掩模装置包括两个掩模机构，所述掩模机构包括掩模组件，两个掩模机构的掩模组件间隔对称设置并适于紧密贴合，以将带状物料的其中一段夹紧密封。本申请的曝光设备的掩模组件通过在掩模框上设置吸气孔，当两个掩模组件将待曝光物料夹住并紧密贴合后，借助吸气孔抽取两个掩模组件之间的空气，使待曝光物料和掩模版真空吸附紧贴在一起，从而提高曝光质量，减小投影误差，同时也不会引起掩膜版本身发生形变。

本发明授权曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种曝光设备，用于带状物料双面曝光，其特征在于：包括掩模装置、两个输料装置和一对光照装置，所述掩模装置包括两个掩模机构，所述掩模机构包括掩模组件，两个掩模机构的掩模组件间隔对称设置并适于紧密贴合，以将带状物料的其中一段夹紧密封； 所述掩模组件包括掩模框和掩模版，所述掩模框构造有通孔一，所述掩模版贴设于掩模框构造有通孔一的侧面一，并将通孔一的一端堵住并密封，所述侧面一构造有多个吸气孔一，多个吸气孔一围绕通孔一周向分布；所述侧面一贴设有导向框，所述吸气孔一位于掩模版和导向框之间，所述导向框的厚度不小于掩模版的厚度；所述掩模框内部构造有与吸气孔一连通的抽气孔，所述抽气孔的一端延伸至掩模框外壁；当带状物料从一对掩模版之间贯穿时，一对导向框紧密贴合将位于导向框内侧的带状物料与外界密封隔开，且此时一对掩模版紧贴带状物料； 一对光照装置分设掩模装置两侧，分别向一掩模组件的掩模版照射平行光，所述光照装置包括机架一和设于机架一上的光源、反射镜一、反射镜二、反射镜三，所述机架一构造有出光门洞，所述光源发出的光能够向上依次经反射镜一、反射镜二、反射镜三反射后形成水平的平行光，并贯穿出光门洞射向掩模版； 两个输料装置分设一对光照装置背离掩模装置的一侧，其中一个输料装置用于将成卷的待曝光带状物料展开，展开后的带状物料从一对掩模版之间贯穿，另一个输料装置用于将曝光完毕的带状物料收起卷绕成卷；所述输料装置包括机架二和设于机架二上的料卷器、张力调节组件，所述料卷器具有： 气胀轴，与机架二回转相连； 卷管，套设于气胀轴外； 驱动件二，与气胀轴传动连接，用于驱动气胀轴自转； 所述张力调节组件具有： 至少一对导辊四，平行间隔设置，并与机架二回转相连； 导辊五，可径向移动地与机架二回转相连； 距离调节器，设于机架二上，并与导辊五相连，用于带动导辊五径向移动调节导辊五和导辊四的间距； 张力检测元件，设于导辊四和或导辊五的轴向端部； 所述带状物料的一端适于依次绕过其中一根导辊四、导辊五、另一根导辊四后缠绕于卷管外周面； 所述侧面一构造有回形槽一，所述回形槽一中构造有与抽气孔连通的吸气孔二，所述通孔一位于回形槽一内侧，所述掩模版掩盖住回形槽一； 所述侧面一构造有与抽气孔连通的回形槽二，所述导向框掩盖住回形槽二，所述导向框和侧面一之间紧密夹设有密封圈一，所述回形槽二位于密封圈一内侧，位于回形槽二内侧的导向框和侧面一之间构造有缝隙，所述缝隙构造为供导向框内侧的气体贯穿后进入回形槽二内。

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