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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种晶圆校准方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121035033B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511202841.5，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆校准方法、装置、设备及存储介质是由程厚义;余良清;齐廉浩;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆校准方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆校准方法、装置、计算机设备及存储介质。所述方法包括：基于旋转电机编码器的反馈值推算旋转平台的旋转角度；基于光学传感器获取晶圆边缘的测量坐标集合；基于旋转角度构建理论距离方程；将测量坐标集合按照均匀分段策列进行划分；基于渐进采样一致性算法筛选出数据子集；将数据子集输出至加权最小二乘法中进行拟合获取光学传感器与晶圆边缘的理论距离；获取光学传感器的实际距离；将数据子集重复进行基于渐进采样一致性算法筛选和基于加权最小二乘法中进行拟合直至所述理论距离和实际距离位于预设的误差范围内。采用本方法不受晶圆尺寸及缺口形状的限制；同时也减少了晶圆缺口和噪声数据对圆心拟合结果的影响。

本发明授权一种晶圆校准方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆校准方法，包括旋转平台，所述旋转平台上设有晶圆，所述旋转平台由旋转电机驱动，其特征在于，所述方法包括： 控制旋转平台旋转并基于旋转电机编码器的反馈值推算旋转平台的旋转角度； 当旋转平台的旋转角度达到预设角度时，基于光学传感器获取晶圆边缘的测量坐标集合； 基于旋转角度构建理论距离方程，公式如下： ==； 其中，为传感器中心到旋转轴距离，为晶圆半径，为偏心距，为初始偏心角，为光学传感器测量的晶圆边缘与传感器中心之间的距离，为固定在旋转轴上的编码器记录的旋转角度，为旋转角度为时，晶圆边缘到转台中心的距离，表示理想无误差场景下，光学传感器中心到晶圆边缘的距离； 上式通过泰勒公式可以展开并转换为： ； 其中，为传感器中心到旋转轴距离，为晶圆半径，为偏心距，为初始偏心角，为光学传感器测量的晶圆边缘与传感器中心之间的距离，为固定在旋转轴上的编码器记录的旋转角度，为旋转角度为时，晶圆边缘到转台中心的距离，表示理想无误差场景下，光学传感器中心到晶圆边缘的距离； 将测量坐标集合按照均匀分段策列进行划分； 基于渐进采样一致性算法筛选出每一段测量坐标集合的拟合误差低于预设误差的坐标并更新所述坐标合集为数据子集； 将所述数据子集输出至加权最小二乘法中进行拟合获取光学传感器与晶圆边缘的理论距离； 获取光学传感器的实际距离； 将数据子集重复进行基于渐进采样一致性算法筛选和基于加权最小二乘法中进行拟合直至所述理论距离和实际距离位于预设的误差范围内。

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