中国科学院大学高琛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院大学申请的专利一种成分梯度薄膜材料电学性能高通量测试的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121090962B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511437176.8,技术领域涉及:G01R31/00;该发明授权一种成分梯度薄膜材料电学性能高通量测试的装置及方法是由高琛;王云开;易栖如设计研发完成,并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种成分梯度薄膜材料电学性能高通量测试的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种成分梯度薄膜材料电学性能的高通量测试装置和方法,属于材料性能测试领域,解决了扫描探针易损伤样品造成测量结果有误的问题。包括:探针装置,位于待测样品上方,包括探针及其固定装置,用于探测样品对外场的响应;电学性能测试装置,用于为样品施加外场,采集探针探测的响应信号,将采集的数据传输至计算机;位移装置,用于装载样品并调整样品的位置;探针‑样品距离监测装置,用于实时监测探针与样品之间的距离并反馈至计算机;计算机,用于在探针与样品接触的瞬间,控制位移装置停止运动,以及基于所采集的数据计算得到样品的电学性能。实现了可有效避免样品受损、速度快、效率高、结果准确的成分梯度薄膜电学性能的测试装置。
本发明授权一种成分梯度薄膜材料电学性能高通量测试的装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种成分梯度薄膜材料电学性能的高通量测试装置,其特征在于,包括: 探针装置,位于待测样品上方,包括探针及其固定装置,用于探测样品对外场的响应; 电学性能测试装置,用于为样品施加外场,同时采集探针探测的响应信号,并将所采集的数据传输至计算机; 位移装置,用于装载待测样品,并调整待测样品的位置; 探针-样品距离监测装置,用于实时监测探针与样品之间的距离并反馈至计算机;以及, 计算机,用于在探针与样品接触的瞬间,控制位移装置停止运动,以及,用于基于所采集的数据计算得到样品的电学性能; 所述探针-样品距离监测装置为探针-样品电容反馈装置,分别与样品和探针电连接,为样品施加电压信号,并测量探针与样品之间电容值;所述电容值表征探针与样品之间的距离; 所述探针-样品电容反馈装置包括:信号发生器、锁相放大器和运算放大器;其中,信号发生器与样品连接,为其施加频率为、幅值为的交流电压信号;运算放大器的输入端连接探针、输出端连接锁相放大器,用于接收并放大针尖产生的电流信号,传输至锁相放大器;锁相放大器的两输入端分别连接信号发生器的输出端和运算放大器的输出端,锁相放大器的输出端连接计算机,用于提取频率为的输出电压,获取其幅值,传输至计算机,计算得到电容值。
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