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合肥晶合集成电路股份有限公司陈帅获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种测试结构及其测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121114714B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511596102.9,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种测试结构及其测试方法是由陈帅;曹兴芳;刘至宜;李响设计研发完成,并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种测试结构及其测试方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种测试结构及其测试方法,应用于半导体技术领域。在本发明中,第一被测元件和第二被测元件沿第一方向相互分隔地排列,每个焊盘组均包括相互分隔设置的第一子焊盘和第二子焊盘,电连接线包括第一电连接线和第二电连接线,且第一子焊盘和第二子焊盘的尺寸设置为相同,第一电连接线和第二电连接线的阻值亦相同,因此可利用相同的探针对第一被测元件和对第二被测元件进行测试时,尺寸相同的第一子焊盘和第二子焊盘与探针之间的接触电阻相同,阻值相同的第一电连接线和第二电连接线的阻值在做差值运算时可抵消,达到避免接触电阻和晶体管元件内部的电连接线电阻对晶体管元件的导通电阻的测量精度的影响,即达到降低测量误差的目的。

本发明授权一种测试结构及其测试方法在权利要求书中公布了:1.一种测试结构,其特征在于,包括: 第一被测元件; 第二被测元件,沿第一方向与所述第一被测元件相互分隔地排列; 多个焊盘组,沿第二方向相互分隔地排列,且每个所述焊盘组均包括相互分隔设置的第一子焊盘和第二子焊盘; 多个电连接线,包括分别电连接所述第一被测元件和每个所述焊盘组的第一子焊盘的多个第一电连接线,和分别电连接所述第二被测元件和每个所述焊盘组的第二子焊盘的多个第二电连接线,以使得所述焊盘组作为所述第一被测元件和所述第二被测元件与外部元件电连接的电连接端; 其中,电连接一所述焊盘组中的第一子焊盘和所述第一被测元件的第一电连接线的阻值与电连接该焊盘组中的第二子焊盘和所述第二被测元件的第二电连接线的阻值相等;并且,每个所述焊盘组中的所述第一子焊盘和所述第二子焊盘的尺寸相同,电连接一所述焊盘组中的第一子焊盘和所述第一被测元件的第一电连接线在所述第一方向或所述第二方向上的尺寸与电连接该焊盘组中的第二子焊盘和所述第二被测元件的第二电连接线在所述第一方向或所述第二方向上的尺寸相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司,其通讯地址为:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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