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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗设备的自动换液装置及换液方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121149061B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511688045.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆清洗设备的自动换液装置及换液方法是由杨仕品;华斌;黄景志设计研发完成，并于2025-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗设备的自动换液装置及换液方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗设备的自动换液装置及换液方法，该换液装置，包括：清洗槽、顺序换液器、加热组件、外循环供液系统，其中，顺序换液器内设置有多个容积可膨缩变化的储液腔，位于首尾两端的储液腔均与清洗槽的内腔连通，不同批次晶圆清洗产生的清洗液，按照一定顺序输入顺序换液器内，然后回流至清洗槽内，使在先、在后清洗液混合，降低不同批次清洗液的消耗和变化影响，保证同一槽清洗液对不同批次晶圆的清洗效果相近，保障晶圆加工的良率与可靠性，降低清洗液更换频率；使用该换液装置进行换液的方法，实现对清洗液进行局部换液和全换液功能，满足不同清洗槽的使用需求。

本发明授权一种晶圆清洗设备的自动换液装置及换液方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备的自动换液装置，其特征在于，包括： 清洗槽1，清洗槽1用于盛装清洗液，当第一批晶圆放置清洗槽1内清洗处理后，清洗槽1内的清洗液为第一清洗液，当第n批晶圆放置清洗槽1内清洗处理后，清洗槽1内的清洗液为第n清洗液； 顺序换液器2，顺序换液器2内设置有四个容积可膨缩变化的储液腔，相邻的储液腔通过止逆通道连通，位于首尾两端的储液腔均与清洗槽1的内腔连通，当各储液腔容积周期性地膨胀、缩小变化后，所述第一清洗液依次进入各储液腔内，并将第一清洗液输入清洗槽1内与第n清洗液混合； 加热组件，加热组件对清洗槽1、储液腔内的清洗液进行加热； 外循环供液系统，包括两条独立的管道，两条管道分别与非首尾两端的两个储液腔连通； 其中，所述顺序换液器2包括压力筒体3和伺服电动缸4，压力筒体3的内部固定安装有隔板7，隔板7将压力筒体3的内腔分隔成左右两个腔室，并在所述左右两个腔室内分别滑动安装有第一活塞盘5、第二活塞盘6，伺服电动缸4驱动第一活塞盘5、第二活塞盘6往复动作，隔板7、第一活塞盘5、第二活塞盘6将压力筒体3的内腔分隔成四个容积可膨缩变化的储液腔，四个储液腔分别为第一腔室8、第二腔室9、第三腔室10和第四腔室11。

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