德沪涂膜设备(苏州)有限公司;苏州材装半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉德沪涂膜设备(苏州)有限公司;苏州材装半导体设备有限公司申请的专利一种气体吹扫机构以及真空干燥装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121163194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511706286.X,技术领域涉及:F26B21/55;该发明授权一种气体吹扫机构以及真空干燥装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;王锦山设计研发完成,并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体吹扫机构以及真空干燥装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种气体吹扫机构以及真空干燥装置,其中,气体吹扫机构包括吹气组件和抽气组件;吹气组件包括吹气管以及与吹气管连接的供气管路;吹气管设置有多个吹气孔,目标气体通过吹气孔吹入密封腔室内;抽气组件包括抽气管以及与抽气管连接的抽气管路,抽气管与吹气管分布于密封腔室的相对两侧并对称设置,抽气管设置有多个抽气孔,密封腔室内的气体自抽气孔流动至抽气管路内并排出;其中,吹气组件和抽气组件中的至少一个设置有气流调节件。本发明的气体吹扫机构以及真空干燥装置用于提高吹扫的目标气体在目标腔室内的均匀性,提高密封腔室内溶剂浓度的均匀性,并降低密封腔室内因压力变化对待干燥产品的干燥效果的影响。
本发明授权一种气体吹扫机构以及真空干燥装置在权利要求书中公布了:1.一种气体吹扫机构,其特征在于,包括: 吹气组件1,包括吹气管11以及与所述吹气管11连接的供气管路12,所述供气管路12用于向所述吹气管11供给目标气体;所述吹气管11设置有多个用于连通密封腔室101的吹气孔111,目标气体通过所述吹气孔111吹入所述密封腔室101内; 抽气组件2,与密封腔室101连接并用于抽取密封腔室101内的气体,在密封腔室101长度方向或宽度方向上,所述吹气组件1和所述抽气组件2之间形成的气体流路贯穿密封腔室101; 其中,所述吹气组件1和所述抽气组件2中的至少一个设置有气流调节件121,所述气流调节件121用于调节所述吹气组件1的吹气流量或所述抽气组件2的抽气流量以控制密封腔室101内的压力; 所述抽气组件2包括抽气管21以及与所述抽气管21连接的抽气管路22,所述抽气管21与所述吹气管11分布于密封腔室101的相对两侧并对称设置,所述抽气管21设置有多个用于连通密封腔室101的抽气孔211,密封腔室101内的气体自所述抽气孔211流动至所述抽气管路22内并排出; 或者,所述吹气组件1设置有两个,两个所述吹气组件1分布于所述密封腔室101的相对两侧,所述抽气组件2位于所述密封腔室101的顶部的中间位置; 其中,所述吹气管11包括与所述供气管路12连接的第一连接部112,所述吹气管11上的多个所述吹气孔111沿远离所述第一连接部112的方向孔径逐步增大;所述吹气管11上多个吹气孔111等间隔均匀分布; 所述抽气管21包括与所述抽气管路22连接的第二连接部212,所述抽气管21上的多个所述抽气孔211沿远离所述第二连接部212的方向孔径逐步增大;所述抽气管21上多个抽气孔211等间隔均匀分布。
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