北京和崎精密科技有限公司徐国丽获国家专利权
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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种用于半导体机械手排线绕屈耐久性测试装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121164093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511695758.6,技术领域涉及:G01N3/32;该发明授权一种用于半导体机械手排线绕屈耐久性测试装置及方法是由徐国丽;下野智成;田德雨;张桐设计研发完成,并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体机械手排线绕屈耐久性测试装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种用于半导体机械手排线绕屈耐久性测试装置及方法。主要包括数字孪生物理测试平台、数字孪生模型构建模块、多源异构数据融合模块、混合增强智能寿命预测模块和夹紧力智能调控模块。本申请通过数字孪生技术整合几何、材料、电磁、热力学多维度数据,基于多参数协同分析机制,实现排线寿命的精准预测;通过融合深度学习网络与排线三维动态模型,能够实现失效模式识别与剩余使用寿命RUL预测,进而提升排线寿命预测的准确性与鲁棒性;通过设置基于力反馈的夹紧力智能调控模块,能够实现夹紧力的动态调节,避免剪切力过大或旋转不同步问题。
本发明授权一种用于半导体机械手排线绕屈耐久性测试装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体机械手排线绕屈耐久性测试装置,其特征在于,包括: 数字孪生物理测试平台,用于模拟排线的实际工况并进行绕屈耐久性测试; 所述数字孪生物理测试平台包括: 绕屈旋转模块,用于实现排线在旋转过程中的弯曲模拟; 电阻测量模块,用于检测电线线芯的电阻变化; 耐压测试模块,用于验证排线的绝缘性能; 温湿度控制模块,布设于绕屈旋转模块的外部,用于对绕屈旋转模块提供测试环境,测试排线在不同测试环境下的性能变化; 数据采集模块,用于实时采集绕屈耐久性测试过程中的物理测试与参数数据; 气动自适应夹具,布设于绕屈旋转模块的延长板上,用于容纳并固定排线端部,且气动自适应夹具的夹持界面集成有六维力传感器,用于实时采集夹紧力监测数据,以及接收理论安全夹紧力设定值; 数字孪生模型构建模块,用于基于多物理场仿真构建排线三维动态模型,并通过实时采集的物理测试与参数数据同步更新模型参数; 多源异构数据融合模块,用于处理物理测试与参数数据,构建标准化特征库; 混合增强智能寿命预测模块,用于融合深度学习网络与排线三维动态模型,预测排线的剩余使用寿命及失效模式; 夹紧力智能调控模块,用于根据实时采集的夹紧力监测数据,通过模型预测控制算法,动态调节夹紧力至材料屈服极限的预设安全区间; 所述夹紧力智能调控模块包括: 有限元反演子模块,用于根据实时采集的夹紧力监测数据,通过排线三维动态模型计算夹持界面接触压力分布,识别材料屈服强度; 模型预测控制子模块,用于根据材料屈服强度,通过模型预测控制算法,以预设时间为周期滚动优化伺服阀输入电压,动态调节夹紧力至材料屈服极限的70%-85%安全区间。
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