德沪涂膜设备(苏州)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉德沪涂膜设备(苏州)有限公司申请的专利涂布定位装置及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121178381B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511755869.1,技术领域涉及:B05C13/00;该发明授权涂布定位装置及控制方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;王锦山设计研发完成,并于2025-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂布定位装置及控制方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种涂布定位装置及控制方法,涉及狭缝涂布技术领域,装置包括:承载平台,用于承载并固定基板;气浮组件,设于所述承载平台下方,并用于形成气膜将承载平台悬浮支撑,调节组件,连接承载平台,用于驱动承载平台平行移动以及绕承载平台中心旋转;控制组件,被配置为用于控制所述调节组件进行位姿补偿,和或,调控所述气浮组件的气膜厚度以实现自适应稳定支撑。通过气浮组件形成气膜悬浮支撑承载平台,有效消除机械接触带来的摩擦和粉尘,同时利用调节组件实现承载平台在X方向、Y方向的平行移动以及绕中心轴的旋转运动,结合控制组件进行实时位姿补偿和气膜厚度调控,从而克服累计误差,确保涂布区域的覆盖一致性和液帘稳定性。
本发明授权涂布定位装置及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种涂布定位装置,其特征在于,包括: 承载平台,用于承载并固定基板; 气浮组件,设于所述承载平台下方,并用于形成气膜将承载平台悬浮支撑, 调节组件,连接承载平台,用于驱动承载平台平行移动以及绕承载平台中心旋转; 调平组件,设于承载平台的下方,用于调节所述承载平台的水平度; 控制组件,被配置为用于控制所述调节组件进行位姿补偿,和或,调控所述气浮组件的气膜厚度以实现自适应稳定支撑; 所述控制组件还被配置为在进行位姿补偿之前,执行预测性预补偿步骤,包括: 基于历史工艺数据建立误差预测模型,所述模型的输入参数包括整机累计移动距离、涂布头跳跃次数以及气源压力稳定性指标; 将当前工艺参数输入至所述误差预测模型,得到基板相对于其目标理论位置的预测累积误差; 驱动调节组件,基于所述预测累积误差对基板进行预补偿; 所述控制组件还被配置为,通过查询预设的配置策略库确定气膜目标厚度,所述配置策略库定义了不同工艺事件类型、负载及动态条件下,与承载平台及其负载所构成的机械结构的目标固有振动频率相对应的气膜厚度。
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