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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种半导体设备的二维仿真方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121189046B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511735423.2，技术领域涉及：G06F30/20；该发明授权一种半导体设备的二维仿真方法、系统、设备及介质是由王开兵;李家强设计研发完成，并于2025-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备的二维仿真方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体设备的二维仿真方法、系统、设备及介质，方法包括建立半导体设备控制系统与二维仿真引擎之间的统一运动学数据结构，并依据差异化坐标转换方法适配多种结构类型的机械臂；建立用于二维仿真引擎显示的静态工艺对象集合；构建工艺任务队列，并在二维仿真引擎与半导体设备控制系统之间建立统一的仿真时钟，在每一仿真时钟周期内，对动态层相关数据进行刷新，并依据事件信号及任务时间参数驱动工艺任务的状态迁移；将操作臂运动学参数、静态工艺对象及工艺任务队列封装为标准化数据结构，通过接口规范与适配器模块实现对不同类型半导体设备的差异化支持，基于分层渲染机制通过绑定层将静态层及动态层进行融合渲染显示。

本发明授权一种半导体设备的二维仿真方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的二维仿真方法，其特征在于，包括： 统一运动学参数构建，建立半导体设备控制系统与二维仿真引擎之间的统一运动学数据结构，并依据差异化坐标转换方法适配多种结构类型的机械臂； 静态工艺对象集合构建，建立用于所述二维仿真引擎显示的静态工艺对象集合，所述工艺对象集合包括腔体对象、工位对象、工艺属性及晶圆流转规则，用于在二维仿真界面中呈现腔体布局、工位位置及预设的晶圆流转路径； 时序与调度适配，基于所述工艺属性及晶圆流转规则构建工艺任务队列，并在所述二维仿真引擎与半导体设备控制系统之间建立统一的仿真时钟，在每一仿真时钟周期内，对操作臂极坐标参数、工位状态及工艺任务队列进行刷新，并依据事件信号及任务时间参数驱动工艺任务的状态迁移； 通用适配层构建，将操作臂运动学参数、静态工艺对象及工艺任务队列封装为标准化数据结构，通过接口规范与适配器模块实现对不同类型半导体设备的差异化支持，基于分层渲染机制通过绑定层将静态层及动态层进行融合渲染显示。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海悦匠实业有限公司，其通讯地址为：201612 上海市松江区新桥镇民益路1698S号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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