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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种PVD加热室的温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121204628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511767113.9，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种PVD加热室的温度控制方法是由余婷;王保;贺忻;王慧锋;徐钧设计研发完成，并于2025-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种PVD加热室的温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种PVD加热腔室的温度控制方法，涉及半导体领域，PVD加热室包括腔室和测温组件，腔室的底壁设有支撑座，腔室的顶壁设有反射板和红外辐射灯，测温组件包括红外检测仪和控制终端，红外检测仪的探测头伸入腔室，温度控制方法包括：开启红外辐射灯加热晶圆；获取信号干扰值I1P；实时测量并输出IP，计算I2=IP‑I1P，根据公式T=I2εσ14计算晶圆温度；将晶圆的实时温度与预设温度对比，若晶圆温度未到预设值，计算红外辐射灯的功率调节需求并进行功率调节。本发明能够实时并精准监测晶圆的温度，以灵活调整红外辐射灯的运行功率。

本发明授权一种PVD加热室的温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种PVD加热室的温度控制方法，所述PVD加热室包括腔室和测温组件，所述腔室的底壁设有用于放置晶圆100的支撑座200，所述腔室的顶壁设有反射板300和安装在反射板300下方的红外辐射灯400，所述测温组件包括红外检测仪500和控制终端600，其特征在于，所述红外检测仪500的探测头510自腔室的顶壁伸入腔室，所述反射板300包括将探测头510包围在内的反射套310，所述反射套310的下端不低于红外辐射灯400的下端，所述反射套310上还套装有用于聚集红外辐射的红外聚集罩520，所述红外聚集罩520的下端伸出反射套310，所述温度控制方法包括： 开启红外辐射灯加热晶圆； 根据红外辐射灯的运行功率P，获取信号干扰值I1P； 实时测量并输出IP，计算I2=IP-I1P，根据公式T=I2εσ14计算晶圆温度； 将晶圆的实时温度与预设温度对比，若晶圆温度未到预设值，计算红外辐射灯的功率调节需求并进行功率调节； 所述获取信号干扰值I1P包括：将功率P输入干扰值和功率的关系公式，得到功率P时的干扰值I1P； 所述干扰值和功率的关系公式生成方法包括： 测量并记录不同功率P对应的信号干扰值I1P； 控制终端分析不同功率P对应的辐射信号干扰值I1P，拟合干扰值和功率的关系公式； 其中，I2为晶圆自发辐射信号值，IP为总辐射信号值，ε为晶圆发射率，σ为斯特藩-玻尔兹曼常数，I1P=I11P+I12，I11P为功率P时晶圆反射的红外灯辐射值，I12为腔室背景辐射值。

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