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龙图腾网获悉上海朋熙半导体有限公司申请的专利半导体后段制程多层载具的管理方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121215569B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511715829.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权半导体后段制程多层载具的管理方法、系统、设备及介质是由祁东波;陈潘潘设计研发完成，并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体后段制程多层载具的管理方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了半导体后段制程多层载具的管理方法、系统、设备及介质。方法包括：定义数据模型，其包含载具类型表和载具内容映射表；基于半导体工艺流程为加工站点配置站点类型参数，参数包括用于区分普通站点、晶舟站点和载具更换站点的站点类型标识以及指示载具更换需求的载具更换标志；将实时载具的嵌套关系输入数据模型生成实时数据存储模型；当载具到达加工站点时，若判定需更换载具，则自动查询下一站点的目标载具类型，从可用载具池选择空闲载具执行更换操作，更新嵌套关系并通过数据库事务确保数据一致性。本发明解决了半导体后段制程多层载具因嵌套关系管理不足导致的更换效率低与数据一致性问题，提升了物料流转的自动化水平和可靠性。

本发明授权半导体后段制程多层载具的管理方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体后段制程多层载具的管理方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一：定义数据模型，所述数据模型包括载具类型表和载具内容映射表，其中所述载具类型表用于存储载具的唯一标识和载具类型，所述载具内容映射表用于存储父载具标识与子载具标识之间的嵌套关系，并通过关系类型区分嵌套方式； 步骤二：基于半导体工艺流程确定加工站点，并为每个加工站点配置站点类型参数，所述站点类型参数包括站点类型标识和与每个工艺步骤对应的载具更换标志，其中所述站点类型标识用于区分普通站点、晶舟站点和载具更换站点，所述载具更换标志用于指示是否需要在当前加工站点执行载具更换； 步骤三：将实时载具的实时嵌套关系输入所述数据模型，生成与所述实时载具对应的实时数据存储模型； 步骤四：当所述实时载具到达加工站点时，基于所述实时数据存储模型，执行以下子步骤： 子步骤4.1：根据当前工艺步骤解析当前加工站点的站点类型参数，当所述站点类型标识为载具更换站点且所述载具更换标志为真时，则判定需要更换载具，并执行子步骤4.2；当判定不需要更换载具时，在所述实时数据存储模型中更新载具位置表，将当前载具的标识与所述加工站点关联，并触发信号至执行设备以进行所述当前工艺步骤； 子步骤4.2：从所述实时数据存储模型查询所述半导体工艺流程的下一加工站点的目标载具类型； 子步骤4.3：根据所述目标载具类型，从可用载具池中选择空闲载具标识，并执行载具更换操作，包括从当前嵌套关系中移除旧载具关联，并添加新载具关联至所述实时数据存储模型，同时更新所述载具内容映射表中的记录，确保数据一致性通过数据库事务实现。

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