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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种基于MEMS的快速变焦晶圆检测显微镜和检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121231509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511796095.7，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种基于MEMS的快速变焦晶圆检测显微镜和检测方法是由桑海龙;李延伟;谢虹波;黄泽帆;谷佳荣;黄悦章;杨睿;林坚创设计研发完成，并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于MEMS的快速变焦晶圆检测显微镜和检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆缺陷检测领域，尤其涉及一种基于MEMS的快速变焦晶圆检测显微镜和检测方法。所述显微镜包括照明部件、样品台、分光镜、显微物镜、MEMS微镜阵列变焦模块、CMOS图像传感器、激光干涉测距传感器以及基于FPGA的同步控制与处理模块。通过在光路中引入由多个微反射镜单元构成的MEMS微镜阵列变焦模块，调节各微反射镜单元的偏转状态，形成具有可控等效曲率的动态反射面，实现对成像光束的聚焦调控，从而完成无需机械移动的电子聚焦，响应速度优于传统机械式调节，适配高速在线检测。

本发明授权一种基于MEMS的快速变焦晶圆检测显微镜和检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS的快速变焦晶圆检测显微镜，其特征在于，包括：照明部件，用于提供均匀照明光束； 样品台，用于固定待测晶圆； 分光镜，设置在照明光路中，用于将照明光束反射至显微物镜； 显微物镜，位于所述分光镜下方，用于将照明光束会聚至待测晶圆表面； MEMS微镜阵列变焦模块，位于所述分光镜上方，用于接收经晶圆反射并透过分光镜的成像光束，所述MEMS微镜阵列变焦模块包括多个微反射镜单元，通过调节所述微反射镜单元的偏转状态，形成具有可控等效曲率的反射面，将成像光束聚焦至CMOS图像传感器； CMOS图像传感器，设置在由MEMS微镜阵列变焦模块反射的成像光束传播路径上，用于接收成像光信号并转换为图像数据； 激光干涉测距传感器，固设在所述显微物镜的一侧，其测量光轴平行于显微系统的光轴，用于实时监测晶圆表面与显微物镜前端之间的物面间距，并输出相应的距离测量信号； 同步控制与处理模块，分别与所述MEMS微镜阵列变焦模块、CMOS图像传感器和激光干涉测距传感器信号连接，用于根据测距信号计算目标面型曲率，驱动MEMS微镜阵列变焦模块调整面型曲率，并同步控制图像采集； 所述同步控制与处理模块为基于FPGA的控制系统；工作时，所述同步控制与处理模块用于接收激光干涉测距传感器输出的实时测距结果，根据该测距结果计算对应于当前物距的目标面型曲率，并将该计算所得的目标面型曲率与MEMS微镜阵列变焦模块的当前面型曲率进行对比；若二者不一致，则生成控制信号驱动MEMS微镜阵列变焦模块调节其反射面的面型曲率，直至实际调节的面型曲率与计算得出的目标面型曲率一致，从而实现闭环自动对焦；所述同步控制与处理模块周期性地执行以下步骤：读取激光干涉测距传感器输出的距离信号；基于测距结果计算MEMS微镜阵列变焦模块的反射面的目标面型曲率；向MEMS微镜阵列变焦模块发送驱动信号；预留MEMS微镜阵列变焦模块形变稳定时间；启动CMOS图像采集模块进行图像采集。

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