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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121232547B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511794632.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法是由张琪;符友银;杨光华;李腾飞;曾庆毫设计研发完成，并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法，涉及光刻机技术领域，包括平台和光源，以及沿光路传播方向依次设置的第一光阑组、反射镜、光束指向测量系统和第二光阑组，光源包括可在光路上切换出光的第一光源和第二光源，反射镜和光束指向测量系统分别设置在平台的第一位移组件和第二位移组件上，光束指向测量系统包括机械件和设置于机械件的镜片，镜片用于连接调节组。先采用第一光源完成光束指向测量系统机械件和镜片的装调及粗定位，降低长时间暴露在第二光源环境对调试人员的伤害；再采用第二光源进行光束指向测量系统镜片的位置验证及微调校准，实现第二光源的光束指向测量系统的离线装调和校准，实现角度校准与位置校准输入解耦。

本发明授权一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光束指向测量系统的装调校准装置，其特征在于，包括：平台，所述平台上设置有光源，以及沿光路传播方向依次设置的第一光阑组、反射镜、光束指向测量系统和第二光阑组，所述光源包括可在所述光路上切换出光的第一光源和第二光源，所述反射镜和所述光束指向测量系统分别设置在所述平台的第一位移组件和第二位移组件上，所述光束指向测量系统包括机械件和设置于所述机械件的镜片，所述镜片用于连接调节组件； 所述第一光源处于所述光路时，通过所述第一光阑组调节所述第一光源水平出光，通过所述第二光阑组调节所述光束指向测量系统的机械件的位置，使所述第一光源的光束沿所述机械件的几何光轴传播，依据所述机械件的位置完成所述光束指向测量系统的镜片的粗安装； 所述光束指向测量系统的出光侧设置光电探测器，所述第二光源处于所述光路时，通过所述调节组件、所述第一位移组件和所述第二位移组件调节所述光束指向测量系统的镜片的位置，以及入射到所述光束指向测量系统的光束角度和位置，所述光电探测器获取所述光束指向测量系统的出射位置和出射角度，所述光束指向测量系统的入射位置和入射角度预先调整好； 所述光束指向测量系统的出射位置数值与所述光束指向测量系统的入射位置数值的差值为零，且所述光束指向测量系统的出射角度数值与所述光束指向测量系统的入射角度数值的差值为零时，所述光电探测器输出零值，所述光束指向测量系统的入射位置和入射角度与所述光束指向测量系统的出射位置和出射角度分别重合。

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