苏州密卡特诺精密机械有限公司王岩获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州密卡特诺精密机械有限公司申请的专利一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121237700B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511795179.9,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统是由王岩;李松明设计研发完成,并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统,涉及晶圆生产技术领域。卷膜自第一膜轴依次延伸至吸附组件的上方,并绕设于吸附组件与第一辊轴之间,使得薄膜层的端部位于第一辊轴的下方,膜纸层继续绕设至第二膜轴上。拉膜组件先拉动薄膜层,然后第一辊轴受控下压,将薄膜层压贴于待贴膜工件的表面,之后拉膜组件松开薄膜层。第一驱动件驱动支架组件沿第一水平方向移动,使第一辊轴在移动过程中将薄膜层贴合于待贴膜工件,同时第二膜轴转动以同步回收膜纸层,可以理解为,在第一辊轴贴膜的过程中是一边贴膜一边撕膜的,相对于完全撕膜后再贴膜的方案,可以避免产生气泡,提高薄膜与工件的贴合质量,避免对后续晶圆生产产生不利影响。
本发明授权一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆生产的贴膜机,其特征在于,包括: 架体; 夹持机构,安装于所述架体上,用于夹持待贴膜工件; 卷膜机构,安装于所述架体上,所述卷膜机构包括第一膜轴和第二膜轴,所述第一膜轴用于安装卷膜,所述卷膜包括薄膜层和膜纸层; 贴膜机构,包括第一驱动件、支架组件和安装在所述支架组件上的吸附组件、拉膜组件,第一辊轴、第二辊轴和切膜组件;所述第一辊轴位于所述切膜组件朝向第一水平方向的一侧,所述第二辊轴位于所述切膜组件背离所述第一水平方向的一侧; 所述卷膜自所述第一膜轴依次延伸至所述吸附组件的上方,并绕设于所述吸附组件与所述第一辊轴之间,使得所述薄膜层的端部位于所述第一辊轴的下方,所述膜纸层继续绕设至所述第二膜轴上; 所述拉膜组件用于夹持所述薄膜层并拉动其移动第一预设距离; 所述第一辊轴受控下压,将所述薄膜层压贴于所述待贴膜工件的表面,之后所述拉膜组件松开所述薄膜层; 所述第一驱动件驱动所述支架组件沿所述第一水平方向移动,使所述第一辊轴在移动过程中将所述薄膜层贴合于所述待贴膜工件,同时所述第二膜轴转动以同步回收所述膜纸层; 当所述第一辊轴移动至所述待贴膜工件的末端时,所述第一辊轴受控上移,之后所述第二辊轴受控下压,所述第一驱动件继续驱动所述支架组件沿所述第一水平方向移动第二预设距离,使所述第二辊轴将被所述第一辊轴带起的部分薄膜层重新压贴于所述待贴膜工件上,最后所述切膜组件对所述薄膜层进行切断。
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