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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利晶圆对中装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121237715B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511802927.1，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权晶圆对中装置及方法是由夏子奂;王秋瑾设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆对中装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆对中装置及方法。晶圆对中装置包括：工件；至少两组光组件，每组光组件包括两个光探测件，两个光探测件同一直径且反向向聚焦环照射入射光，并接收反射的光强信息；第一移动件与一组光组件相连且用于带动光组件沿第一直径方向往复移动，第二移动件与另一组光组件相连且用于带动光组件沿第二直径方向往复移动，且第一直径方向和第二直径方向不同向；控制器，与光组件、移动组件相连，用于根据光强信息控制第一移动件和第二移动件动作，直至使得所有光探测件接收的光强信息相同。本申请可以实现非接触式的晶圆对中，且对中效率高，结构简单可靠。

本发明授权晶圆对中装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对中装置，其特征在于，包括： 工件，用于置于聚焦环内的卡盘上； 至少两组光组件，每组所述光组件包括两个光探测件，两个所述光探测件用于沿所述工件同一直径且反向向聚焦环照射入射光，并分别接收经所述聚焦环反射的光强信息； 移动组件，设于所述工件上，至少包括第一移动件和第二移动件，所述第一移动件与一组所述光组件相连且用于带动所述光组件中两个光探测件同步且同向地沿所述工件的第一直径方向往复移动，所述第二移动件与另一组所述光组件相连且用于带动所述光组件中两个光探测件同步且同向地沿所述工件的第二直径方向往复移动，且所述第一直径方向和所述第二直径方向不同向； 控制器，与所述光组件、所述移动组件相连，用于根据第一直径方向上两个所述光探测件的光强信息，控制所述第一移动件动作，直至使得两个光探测件接收的光强信息相同，完成该组中两个光探测件的中心与聚焦环中心的对中；用于根据第二直径方向上两个所述光探测件的光强信息，控制所述第二移动件动作，直至使得两个光探测件接收的光强信息相同，完成该组中两个光探测件的中心与聚焦环中心的对中，且将第一移动件和第二移动件的动作信息作为晶圆输送中的输送数据或者卡盘的位移数据，完成输送至聚焦环内的晶圆对中。

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