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四川盛弈电气设备有限公司周亚雄获国家专利权

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龙图腾网获悉四川盛弈电气设备有限公司申请的专利一种电子元件尺寸与轮廓的自动化计量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121252651B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511821878.6,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权一种电子元件尺寸与轮廓的自动化计量方法是由周亚雄;闵高杨设计研发完成,并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电子元件尺寸与轮廓的自动化计量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及精密几何量测量技术领域,公开了一种电子元件尺寸与轮廓的自动化计量方法,包括:利用虚拟投影成像模型计算待测电子组件的标称截断相位分布图,控制投影单元向电子组件投射单频正弦条纹光栅并采集变形条纹图像,计算调制度分布图梯度并提取边缘轮廓特征以解算组件实际位姿;对标称与实测截断相位分布图执行模2π差分运算,并利用边缘掩膜剔除高梯度伪影,生成相位残差图;依据相位高度映射关系将相位残差图转换为高度偏差分布图,本发明通过构建相位域差分计量通道,避免非连续表面测量中的相位解包裹歧义性。

本发明授权一种电子元件尺寸与轮廓的自动化计量方法在权利要求书中公布了:1.一种电子元件尺寸与轮廓的自动化计量方法,其特征在于,包括以下步骤: 构建虚拟投影成像模型,基于待测电子组件的标称三维数模及测量系统的预标定参数,利用光线追踪逻辑将标称三维数模映射为二维的标称截断相位分布图,建立用于表征理想几何形态的相位参考基准; 控制投影单元向待测电子组件表面投射单频正弦条纹光栅,通过成像单元同步采集经待测电子组件表面高度调制后的变形条纹图像序列,并解析得到实测截断相位分布图及调制度分布图; 计算调制度分布图的梯度场并提取边缘轮廓特征,将边缘轮廓特征与标称三维数模的投影轮廓进行匹配,解算待测电子组件在测量坐标系下的实际六自由度位姿,并基于实际六自由度位姿对标称截断相位分布图执行空间变换配准以生成参考相位图; 对实测截断相位分布图与参考相位图执行模2π差分运算,计算二者在相位域的代数差并将结果映射至周期区间内以生成连续的相位残差图,利用基于调制度分布图的梯度信息生成的边缘掩膜,剔除相位残差图中对应于高度跃变区域的高梯度伪影; 依据预设的相位高度映射关系,将经过掩膜处理的相位残差图转换为高度偏差分布图; 以及,依据预设的相位高度映射关系步骤具体包括:建立映射相位残差值与物理高度偏差值的线性关系的相位高度查找表,将相位残差图中的有效像素值代入相位高度查找表,解算对应像素点相对于标称表面的法向高度偏差;统计高度偏差分布图中特定区域的均方根误差,并将均方根误差与预设的公差标准进行比对; 待测电子组件为半导体先进封装制程中具有垂直边缘特征的微型金属互连结构,单频正弦条纹光栅的等效波长大于待测电子组件的最大允许高度公差范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人四川盛弈电气设备有限公司,其通讯地址为:610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区剑南大道中段555号7栋2单元6层612号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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