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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种射频电源的控制装置、控制方法及射频电源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121254726B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511805709.3，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种射频电源的控制装置、控制方法及射频电源是由李树瑜;田思雨;温世波设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频电源的控制装置、控制方法及射频电源在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频电源的控制装置、控制方法及射频电源。控制装置包括：调节模块、控制模块和采样模块；调节模块用于根据信号发生模块输出的基准射频信号和控制模块输出的第二偏压值，输出驱动信号至功率放大模块的射频输入端；采样模块用于采集功率放大模块输出至负载的实际正向功率以及由负载反射回的实际反向功率；控制模块用于在实际反向功率大于反向功率阈值时，根据实际反向功率与反向功率阈值向功率放大模块的供电端施加小于最大输入电压值的直流电压值，同时根据实际正向功率和正向功率阈值调节第二偏压值。本发明用于在负载阻抗变化时，既能有效保护射频电源免受过大反向功率的损害，又能维持正向功率的持续输出，避免工艺中断。

本发明授权一种射频电源的控制装置、控制方法及射频电源在权利要求书中公布了：1.一种射频电源的控制装置，其特征在于，所述射频电源包括信号发生模块和功率放大模块； 所述控制装置包括：调节模块、控制模块和采样模块； 所述控制模块分别与所述调节模块和所述采样模块连接； 所述调节模块用于根据所述信号发生模块输出的基准射频信号和所述控制模块输出的第二偏压值，输出驱动信号至所述功率放大模块的射频输入端； 所述采样模块用于采集所述功率放大模块输出至负载的实际正向功率以及由所述负载反射回的实际反向功率； 所述控制模块用于在所述实际反向功率大于反向功率阈值时，根据所述实际反向功率与所述反向功率阈值向所述功率放大模块的供电端施加小于最大输入电压值的直流电压值，以限制所述实际反向功率的增大，同时根据所述实际正向功率和正向功率阈值调节所述第二偏压值，还用于在所述实际反向功率小于或等于所述反向功率阈值时，根据所述实际正向功率和所述正向功率阈值调节所述第二偏压值，同时向所述功率放大模块的供电端施加等于最大输入电压值的直流电压值，其中，所述功率放大模块向所述负载输出的最大目标正向功率与所述直流电压值呈正相关； 所述控制模块包括第一控制单元、第二控制单元和阈值设定单元； 所述阈值设定单元用于向所述第一控制单元发送所述反向功率阈值，向所述第二控制单元发送所述正向功率阈值； 所述第一控制单元用于在实际反向功率大于所述反向功率阈值时，根据实际反向功率与所述反向功率阈值向所述功率放大模块的供电端施加小于最大输入电压值的直流电压值，以限制实际反向功率的增大，还用于在所述实际反向功率小于或等于所述反向功率阈值时向所述功率放大模块的供电端施加所述最大输入电压值； 所述第二控制单元用于根据所述实际正向功率和所述正向功率阈值调节第二偏压值。

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