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龙图腾网获悉浙江东开半导体科技有限公司申请的专利一种大流量场景下的高精度气体混配系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121266390B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511842024.6，技术领域涉及：B01F23/10；该发明授权一种大流量场景下的高精度气体混配系统及其控制方法是由阮富冰;谈领华设计研发完成，并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大流量场景下的高精度气体混配系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明属于气体混配技术领域，尤其涉及一种大流量场景下的高精度气体混配系统及其控制方法，系统包括气源供给单元、一次混气单元、二次混气单元、混气控制单元及缓冲罐，一次混气单元通过主气管路的比例阀组实现不同气源的流量控制与初次混合，二次混气单元通过支气管路对浓度偏差进行补偿修正，形成双级闭环调节结构，混气控制单元基于浓度与流量的PID算法实时调整比例阀开度，实现浓度与流量的动态协同控制，系统在整定混气、正常混气及降流混气三种模式下可自动切换运行，并通过浓度检测结果判断是否启动二次混配或排放，实现了超大流量下高精度混配与浓度稳定控制，具有响应快速、精度高、气源利用率高的优点。

本发明授权一种大流量场景下的高精度气体混配系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种大流量场景下的高精度气体混配系统，其特征在于，包括： 气源供给单元，用于提供至少两种不同组分的气源； 一次混气单元100，包括与各气源连通的主气管路，每一主气管路上均设置有主气调节阀组，在主气管路汇合处设置第一静态混合器7和第一浓度计8，用于对所述气源供给单元输出的气流进行初次混合并检测混合浓度，输出一次混合气体； 二次混气单元200，包括与各气源连通的支气管路，每一支气管路上均设置有支气调节阀组，在支气管路汇合处设置有第二静态混合器9和第二浓度计10，用于对所述一次混合气体以及补充气源进行二次混合并检测混合浓度，输出二次混合气体； 缓冲罐24，与所述二次混气单元200出口相连，用于储存检测合格的混合气体并输出至外部用气设备； 控制模块，用于执行混配控制流程，包括整定混气阶段、正常混气阶段和降流混气阶段； 在整定混气阶段，通过控制所述主气调节阀组的开度按预设幅度逐级提升实现气流量和混合浓度的初始整定，每一级均结合流量反馈信号或浓度检测信号与流量反馈信号执行PID算法修正开度； 在正常混气阶段，所述控制模块基于目标流量实时混配，根据所述第一浓度计8的检测值与目标浓度的偏差动态调节主气调节阀组开度以维持目标浓度； 在降流混气阶段，当系统检测到流量降低至设定阈值时，控制模块根据所述缓冲罐24的压力按预设比例降低目标流量，且调用所述整定混气阶段记录的PID调节偏移值同步调整主气调节阀组开度； 在所述整定混气阶段、正常混气阶段和降流混气阶段中，若所述第一浓度计8检测的一次混合气体浓度超出设定范围，所述控制模块控制所述二次混气单元200启动对应支气管路补充气源进行二次混配，以所述第二浓度计10检测结果判定是否输出至所述缓冲罐24。

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