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江苏永鼎股份有限公司路庆海获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种DFB激光器光栅的高效调试制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121282723B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511848418.2,技术领域涉及:H01S5/12;该发明授权一种DFB激光器光栅的高效调试制备方法是由路庆海;李晶;张金胜;吴晓萍设计研发完成,并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种DFB激光器光栅的高效调试制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种DFB激光器光栅的高效调试制备方法,包括:通过电子显微成像获取光栅线条的宽度和深度形成初始参数集;比对设计参数识别异常区域;分析异常区域参数的空间分布规律,归类工艺波动类型;根据波动类型对几何参数序列进行选择性滤波,获得校正参数;依据校正参数评估对输出波长的影响,在预测偏离时生成工艺补偿系数;通过工艺仿真预测优化结构参数;最终生成控制指令驱动刻蚀设备实时调整工艺,并通过监测确认性能达标。本发明能够智能诊断波动根源、精准校正参数并实现闭环控制,有效提升制备过程的抗干扰能力、控制精度与效率。

本发明授权一种DFB激光器光栅的高效调试制备方法在权利要求书中公布了:1.一种DFB激光器光栅的高效调试制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 对已制备的光栅样片进行电子显微成像,以获得光栅线条的几何形貌,并基于几何形貌测量得到各光栅线条的宽度和深度,形成初始参数集; 将初始参数集与预设的设计参数进行比对,识别出其中线条几何形状的偏差超过允许范围的区域,并将其判定为异常区域,同时获取异常区域的参数集合; 分析异常区域的宽度和深度参数在空间上的分布规律,基于预定义的波动特征,将导致几何偏差的原因归类为不同的工艺波动类型; 根据归类出的工艺波动类型,对异常区域的关键几何参数序列进行选择性滤波处理,以抑制因特定工艺波动引入的随机偏差或趋势性偏差,从而获得校正后的几何参数序列; 依据校正后的几何参数序列,评估其对激光器输出波长的潜在影响;当评估结果表明波长性能将偏离设计目标时,则生成相应的工艺补偿系数集合; 将工艺补偿系数集合反馈至光栅制备工艺系统,用以调整关键的工艺输入参数,并通过工艺仿真预测优化后的光栅结构参数; 基于优化后的光栅结构参数,生成控制指令并发送至激光刻蚀设备,以在后续光栅的制备过程中对相关工艺条件进行实时调整;通过实时监测确认输出光栅的性能达标后,完成调试。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏永鼎股份有限公司,其通讯地址为:215200 江苏省苏州市吴江区汾湖高新区国道路1788号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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