秦皇岛微晶科技有限公司;河南微米光学科技有限公司刘畅获国家专利权
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龙图腾网获悉秦皇岛微晶科技有限公司;河南微米光学科技有限公司申请的专利一种基于等离子体辅助PVD蒸镀制备的光学材料及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121292831B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511833324.8，技术领域涉及：C03C17/22；该发明授权一种基于等离子体辅助PVD蒸镀制备的光学材料及其制备方法是由刘畅;王成涛;王玉洁;朱逢旭;李秋丽设计研发完成，并于2025-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于等离子体辅助PVD蒸镀制备的光学材料及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于等离子体辅助PVD蒸镀制备的光学材料及其制备方法，属于玻璃表面处理技术领域。本发明采用等离子体辅助的PVD蒸镀工艺，对熔融石英进行表面处理，得到能够用于深紫外光学的光学材料。通过溶胶‑凝胶法与固相氟化转化工艺，成功制备了具有氟化钙@氟化铝核壳结构的改性镀材，将两种氟化物整合为单一镀材，蒸发时借助三氟化氮等离子体实现原位补氟，避免高温下氟化物中的氟流失，进而影响到材料的光学性能。本发明通过核壳结构设计，缓解了多组分蒸发时的分馏效应，结合等离子体引出的离子束辅助沉积，在熔融石英表面沉积出均匀的镀层，能够作为深紫外光学材料使用。
本发明授权一种基于等离子体辅助PVD蒸镀制备的光学材料及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于等离子体辅助PVD蒸镀制备的光学材料，其特征在于，所述光学材料由基底和镀层构成，所述基底为熔融石英，所述镀层为氟化钙@氟化铝核壳结构粉末；所述氟化钙@氟化铝核壳结构粉末经等离子体辅助PVD蒸镀后沉积在基底上； 所述氟化钙@氟化铝核壳结构粉末的制备方法包括： 步骤A1、将氟化钙加入到硝酸中处理，离心洗涤至上清液pH=5.5-6.5，沉淀分散在去离子水中，加入聚乙二醇，超声，得到氟化钙悬浮液； 步骤A2、向氟化钙悬浮液中加入硝酸铝溶液，搅拌，得到混合溶液，加入醋酸钠缓冲液，超声，得到预制液； 步骤A3、加热预制液，加入氨水调节pH至6.5-7.5，保温，陈化，离心，收集沉淀，无水乙醇洗涤，真空干燥，得到氟化钙@氢氧化铝核壳粉末； 步骤A4、将氟化钙@氢氧化铝核壳粉末与氟化铵粉末在反应釜中共热，保温，降温后，固体产物用无水乙醇洗涤，真空干燥，得到氟化钙@氟化铝核壳结构粉末。
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