上海车仪田科技有限公司刘新阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利半导体外延生长的控制方法、系统、控制装置及相关产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121428653B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511999718.0，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权半导体外延生长的控制方法、系统、控制装置及相关产品是由刘新阳;张黎明;邢陈陈设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体外延生长的控制方法、系统、控制装置及相关产品在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体外延生长的控制方法、系统、控制装置及相关产品，涉及半导体检测技术领域，本申请实时获取反射光谱数据并解析得到光学特征集，再将光学特征集输入光学传输模型中进行迭代优化，得到预测生长速率；将预测生长速率与目标生长速率进行比较并生成偏差信息，进而输出工艺调整控制指令，使主控制系统在下一工艺周期对工艺参数进行闭环修正。本申请的光学特征集能够动态表征界面过渡层对反射光谱的影响，从而提高对真实外延结构状态的反演精度与鲁棒性；基于预测生长速率对工艺参数进行闭环修正，可实现对生长速率漂移的及时抑制和对工艺扰动的自适应补偿，减少人工校准与干预需求，提升生产稳定性、重复性与批间一致性。
本发明授权半导体外延生长的控制方法、系统、控制装置及相关产品在权利要求书中公布了：1.一种半导体外延生长的控制方法，其特征在于，所述方法包括: 获取反射光谱数据；其中，所述反射光谱数据是基于半导体外延生长过程中产生的反射光信号生成的； 解析所述反射光谱数据，得到光学特征集；其中，所述光学特征集包括分布式布拉格反射镜的停止带中心波长、停止带宽度、法布里-珀罗腔模中心波长、腔模深度、腔模半高宽、以及预设波长点处的绝对反射率值中的至少一个； 将所述光学特征集输入预设的光学传输模型中，迭代优化所述光学传输模型的可变物理参数集，直至满足预设条件，得到目标参数集；所述可变物理参数集包括当前层的层厚、界面过渡层的层厚、组分、材料的光学常数，所述光学常数包括折射率和消光系数； 基于所述目标参数集生成预测生长速率；比较所述预测生长速率和目标生长速率，得到偏差信息； 根据所述偏差信息，生成工艺调整控制指令，以使主控制系统在下一工艺周期按照调整后的工艺参数执行外延生长工艺。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励