捷捷微电(南通)科技有限公司章尧获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种尾气处理装置与半导体加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223995760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520590706.1，技术领域涉及：B01D53/18；该实用新型一种尾气处理装置与半导体加工系统是由章尧;吴胜荣;张曙光设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种尾气处理装置与半导体加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种尾气处理装置与半导体加工系统，该尾气处理装置包括水箱、进水机构、液位传感器、导流机构、防泄漏传感器以及控制器，液位传感器设置于水箱的侧壁，导流机构、进水机构均与水箱连通，且导流机构与水箱的连接处的高度高于液位传感器的高度，防泄漏传感器设置于导流机构内，控制器分别与进水机构、液位传感器以及防泄漏传感器电连接；其中，液位传感器用于检测水箱内的液位，防泄漏传感器用于检测导流机构内是否有净化水；控制器用于在导流机构内检测到净化水时，控制进水机构停止工作。本申请提供的尾气处理装置与半导体加工系统具有能够在液位传感器失效时，防止水箱内液体泄漏的优点。
本实用新型一种尾气处理装置与半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置包括水箱、进水机构、液位传感器、导流机构、防泄漏传感器以及控制器，所述液位传感器设置于所述水箱的侧壁，所述导流机构、所述进水机构均与所述水箱连通，且所述导流机构与所述水箱的连接处的高度高于所述液位传感器的高度，所述防泄漏传感器设置于所述导流机构内，所述控制器分别与所述进水机构、所述液位传感器以及所述防泄漏传感器电连接；其中， 所述水箱用于容纳净化水，且所述水箱设置有进气口与出气口，所述水箱内的净化水用于对所述进气口进入的尾气进行净化； 所述液位传感器用于检测所述水箱内的液位，所述防泄漏传感器用于检测所述导流机构内是否有净化水； 所述控制器用于在所述导流机构内检测到净化水时，控制所述进水机构停止工作。
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