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绍兴君万微电子科技有限公司李燚雷获国家专利权

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龙图腾网获悉绍兴君万微电子科技有限公司申请的专利一种可定位晶圆涂胶吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223996507U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520825820.8,技术领域涉及:B05C13/02;该实用新型一种可定位晶圆涂胶吸盘是由李燚雷;赵泽伟;何丽铭;白伟伟设计研发完成,并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可定位晶圆涂胶吸盘在说明书摘要公布了:一种可定位晶圆涂胶吸盘,包括吸盘以及晶圆,所述吸盘上连接有定位装置;所述定位装置包括三个以上的安装杆体;三个以上的所述安装杆体以吸盘的轴心为轴心旋转分布;所述安装杆体内端与吸盘连接,安装杆体外端安装有定位杆;所述晶圆被限位在三个以上所述安装杆体的定位杆之间。本实用新型一种可定位晶圆涂胶吸盘通过安装杆体上的定位杆进行限位,从而将晶圆进行定位;在晶圆的吸附上,改良了现有真空孔结构,使得真空吸力更为均匀,吸附效果更好。

本实用新型一种可定位晶圆涂胶吸盘在权利要求书中公布了:1.一种可定位晶圆涂胶吸盘,包括吸盘1以及晶圆,其特征在于:所述吸盘1上连接有定位装置;所述定位装置包括三个以上的安装杆体2;三个以上的所述安装杆体2以吸盘1的轴心为轴心旋转分布;所述安装杆体2内端与吸盘1连接,安装杆体2外端安装有定位杆3;所述晶圆被限位在三个以上所述安装杆体2的定位杆3之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人绍兴君万微电子科技有限公司,其通讯地址为:312000 浙江省绍兴市柯桥区齐贤街道国科人工智能创新中心6幢101室(承诺申报);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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