上海玄亨科技股份有限公司蒲红旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种静电卡盘自动清洁装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223996726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520216563.8,技术领域涉及:B08B1/14;该实用新型一种静电卡盘自动清洁装置是由蒲红旭设计研发完成,并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘自动清洁装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种静电卡盘自动清洁装置,静电卡盘包括基部和静电吸附部,包括:真空吸附底板,用于承载并吸附固定静电卡盘;多个齿轮,包括驱动齿轮和至少一个从动齿轮,齿轮的中心轴垂直于真空吸附底板,多个齿轮设于静电吸附部的外侧并位于同一平面,任意两个齿轮之间的相对位置不变,至少两个齿轮沿静电吸附部的周向布置;第一电机,用于实现驱动齿轮绕自身中心轴旋转;齿条皮带,其安装在齿轮外侧并啮合连接齿轮,齿条皮带的外表面粘贴有布条,布条的部分区段贴合静电吸附部的侧表面;驱动机构,用于一体化的驱动多个齿轮、第一电机绕静电吸附部的中心轴旋转。本实用新型的优点在于:能自动清洁静电吸附部的整个侧表面,提高了清洁效率。
本实用新型一种静电卡盘自动清洁装置在权利要求书中公布了:1.一种静电卡盘自动清洁装置,静电卡盘包括基部和形成在基部上表面的静电吸附部,所述基部的直径大于所述静电吸附部的直径,其特征在于,包括: 真空吸附底板,用于承载并吸附固定所述静电卡盘,所述基部的下表面接触所述真空吸附底板的上表面; 多个齿轮,包括驱动齿轮和至少一个从动齿轮;所述齿轮的中心轴垂直于所述真空吸附底板;多个所述齿轮设于所述静电吸附部的外侧并位于同一平面;任意两个所述齿轮之间的相对位置不变;至少两个所述齿轮沿所述静电吸附部的周向布置; 第一电机,用于驱动所述驱动齿轮绕自身中心轴旋转; 齿条皮带,其安装在所述齿轮的外侧,并啮合连接所述齿轮;所述齿条皮带的外表面粘贴有布条,所述布条的部分区段贴合所述静电吸附部的侧表面; 驱动机构,用于一体化的驱动多个所述齿轮、第一电机绕所述静电吸附部的中心轴旋转。
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