河南鸿泰钻石科技有限公司冯树立获国家专利权
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龙图腾网获悉河南鸿泰钻石科技有限公司申请的专利一种功能性金刚石的半导体表面抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223998113U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520729482.8，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种功能性金刚石的半导体表面抛光装置是由冯树立;刘琳琳;潘广富设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种功能性金刚石的半导体表面抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体抛光加工技术领域，尤其涉及一种功能性金刚石的半导体表面抛光装置，其包括半导体抛光台，半导体抛光台上设置有固定组件和抛光液输入组件；抛光液输入组件包括储液罐、输料泵和侧向通管，输料泵和侧向通管均固定安装在半导体抛光台上侧，输料泵和侧向通管之间接通有第三通管，侧向通管侧边均布固定安装有若干喷液管。本实用新型通过设置的抛光液输入组件，当抛光液通过连接筒中时，液体会推动搅拌桨片转动，进而液体将搅拌桨片和挡片之间的交错搅拌碰撞下，能够使液体中的沉积聚拢大粒径组件进行打散，使喷涂到加工的晶圆片上的抛光液中各组分均匀分布，避免抛光加工过程中对半导体表面造成刮伤。
本实用新型一种功能性金刚石的半导体表面抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种功能性金刚石的半导体表面抛光装置，其特征在于，包括半导体抛光台1，所述半导体抛光台1上设置有固定组件8和抛光液输入组件9； 所述抛光液输入组件9包括储液罐91、输料泵96和侧向通管98，所述输料泵96和侧向通管98均固定安装在半导体抛光台1上侧，所述输料泵96和侧向通管98之间接通有第三通管97，所述侧向通管98侧边均布固定安装有若干喷液管99，所述储液罐91内侧底部连通安装有第一通管93，所述第一通管93端部螺接安装有连接筒94，所述连接筒94与输料泵96之间连通安装有第二通管95。
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