北京特思迪半导体设备有限公司郝元龙获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆边缘抛光装置及抛光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223998120U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520721280.9，技术领域涉及：B24B29/04；该实用新型一种晶圆边缘抛光装置及抛光机是由郝元龙;李鹏;张晓东;寇明虎设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘抛光装置及抛光机在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆边缘抛光装置及抛光机，属于晶圆抛光技术领域，具体而言，包括：工件固定主轴机构，工件固定主轴机构用于放置待抛光的晶圆并带动晶圆旋转；边缘上斜面抛光机构、边缘下斜面抛光机构及边缘抛光机构，边缘上斜面抛光机构用于对晶圆边缘的上斜面进行抛光，所述边缘下斜面抛光机构用于对晶圆边缘的下斜面进行抛光，所述边缘抛光机构用于对晶圆的圆周边缘进行抛光；移动机构，用于带动所述边缘上斜面抛光机构、边缘下斜面抛光机构及边缘抛光机构在抛光方向上进行移动。通过在工件固定主轴机构的周向设置边缘上斜面抛光机构、边缘下斜面抛光机构及边缘抛光机构一同对晶圆边缘的上斜面、下斜面、圆周边缘进行抛光，提升抛光效率。
本实用新型一种晶圆边缘抛光装置及抛光机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘抛光装置，其特征在于，包括： 工件固定主轴机构，所述工件固定主轴机构用于放置待抛光的晶圆并带动晶圆旋转； 边缘上斜面抛光机构、边缘下斜面抛光机构及边缘抛光机构围绕设置在所述工件固定主轴机构的周向，所述边缘上斜面抛光机构用于对晶圆边缘的上斜面进行抛光，所述边缘下斜面抛光机构用于对晶圆边缘的下斜面进行抛光，所述边缘抛光机构用于对晶圆的圆周边缘进行抛光； 移动机构，用于带动所述边缘上斜面抛光机构、边缘下斜面抛光机构及边缘抛光机构在抛光方向上进行移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京特思迪半导体设备有限公司，其通讯地址为：101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励