杭州欧诺半导体设备有限公司张羽良获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州欧诺半导体设备有限公司申请的专利一种炉管通用的检查机械手水平自动检查装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223998467U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520697962.0，技术领域涉及：B25J19/00；该实用新型一种炉管通用的检查机械手水平自动检查装置是由张羽良;田森源;曾官寿;宋大伟设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种炉管通用的检查机械手水平自动检查装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种炉管通用的检查机械手水平自动检查装置，包括基板，所述基板上固定连接有两个第二支架，第二支架上铰接有连接座，连接座上固定连接有安装板，其中一个安装板上均布有多个激光发射器，另一个安装板上对应激光发射器的位置处固定连接有激光接收器；本实用新型利用多个激光发射器和激光接收器检测陶瓷抓片的水平和间距，将陶瓷抓片的位置偏移量转化为信号阻隔和接收的时间间距，从而实现定期的对陶瓷抓片水平度及间距进行高精度自动化检测，以此避免因陶瓷抓片的位置偏移造成晶圆表面受损；同时本实用新型通过对安装板进行水平调节，可以避免因检查装置自身误差造成的检查结果不准确。
本实用新型一种炉管通用的检查机械手水平自动检查装置在权利要求书中公布了：1.一种炉管通用的检查机械手水平自动检查装置，包括基板1，其特征在于：所述基板1上固定连接有两个第二支架2，第二支架2上铰接有连接座22，连接座22上固定连接有安装板24，其中一个安装板24上均布有多个激光发射器25，另一个安装板24上对应激光发射器25的位置处固定连接有激光接收器28。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州欧诺半导体设备有限公司，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市钱塘区河庄街道青西二路1099号综合楼602-196号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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