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龙图腾网获悉锐立平芯微电子(广州)有限责任公司申请的专利半导体清洗液供液装置以及半导体清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224007064U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520580760.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型半导体清洗液供液装置以及半导体清洗系统是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体清洗液供液装置以及半导体清洗系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体清洗液供液装置以及半导体清洗系统。半导体清洗液供液装置包括配液容器、配液管道组件、排液管道组件、开关阀组件、电磁阀组件、酸碱度传感组件以及控制组件。配液管道组件包括第一管道组件、第二管道组件以及冲水管道组件。开关阀组件用于控制排液管道组件的通断。第一电磁阀连通设置于冲水管道组件。酸碱度传感组件用于检测配液腔体内的液体酸碱值。控制组件用于根据酸碱度传感组件所测得的液体酸碱值控制第一电磁阀在打开状态和关闭状态之间切换。本申请中的半导体清洗液供液装置有利于提高清洗溶液制程的精准性，从而提高对半导体的清洗质量。

本实用新型半导体清洗液供液装置以及半导体清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗液供液装置，其特征在于，所述半导体清洗液供液装置包括： 配液容器，设有配液腔体； 配液管道组件，所述配液管道组件包括第一管道组件、第二管道组件以及冲水管道组件；所述第一管道组件用于与所述配液腔体连通以将第一溶液输入至所述配液腔体；所述第二管道组件用于与所述配液腔体连通以将第二溶液输入至所述配液腔体；所述冲水管道组件用于与所述配液腔体连通以将去离子水输入至所述配液腔体； 排液管道组件以及开关阀组件，所述排液管道组件用于与所述配液腔体和冲洗组件连通以将所述配液腔体内的液体排出至所述冲洗组件；所述开关阀组件用于控制所述排液管道组件的通断； 电磁阀组件，包括第一电磁阀；所述第一电磁阀连通设置于所述冲水管道组件； 酸碱度传感组件，所述酸碱度传感组件用于检测所述配液腔体内的液体酸碱值； 控制组件，所述控制组件用于与所述第一电磁阀以及所述酸碱度传感组件通信连接，所述控制组件被配置为：所述控制组件能够根据所述酸碱度传感组件所测得的液体酸碱值控制所述第一电磁阀在打开状态和关闭状态之间切换。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人锐立平芯微电子(广州)有限责任公司，其通讯地址为：510530 广东省广州市黄埔区萝岗街道至泰广场A6栋13层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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