武汉国科光领半导体科技有限公司史正康获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉国科光领半导体科技有限公司申请的专利一种用于清洁芯片的治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224007066U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520742534.5，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于清洁芯片的治具是由史正康;姚广峰设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于清洁芯片的治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于清洁芯片的治具，属于芯片制造设备技术领域；其包括：清洁组件、进气组件以及出气组件，清洁组件包括清洁箱体、清洁单元以及用于装载晶圆的载片台，清洁箱体的一端敞口设置，多个载片台活动插装于清洁箱体的内腔中；清洁单元包括配合设置的第一孔体和第二孔体，第一孔体设置于清洁箱体的封闭端，第二孔体开设于载片台中，第二孔体设置于载片台的端面与晶圆之间，依次通过第一孔体和第二孔体的气流能够清洁晶圆。进气组件，设置于清洁箱体的封闭端，以供输入气流。出气组件，设置于清洁箱体的开口端，以供过滤气流。本实用新型能够高效除去晶圆表面的大颗粒污物。
本实用新型一种用于清洁芯片的治具在权利要求书中公布了：1.一种用于清洁芯片的治具，其特征在于，包括： 清洁组件，所述清洁组件包括清洁箱体、清洁单元以及用于装载晶圆的载片台，所述清洁箱体的一端敞口设置，多个所述载片台活动插装于所述清洁箱体的内腔中；所述清洁单元包括配合设置的第一孔体和第二孔体，所述第一孔体设置于所述清洁箱体的封闭端，所述第二孔体开设于所述载片台中，所述第二孔体设置于所述载片台的端面与晶圆之间，依次通过所述第一孔体和第二孔体的气流能够清洁晶圆； 进气组件，设置于所述清洁箱体的封闭端，以供输入气流； 出气组件，设置于所述清洁箱体的开口端，以供过滤气流。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉国科光领半导体科技有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路1号楚天传媒生产基地二期1号楼1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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