江苏中科智芯集成科技有限公司张胜男获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中科智芯集成科技有限公司申请的专利一种承载装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224007079U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520379346.0,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种承载装置是由张胜男;陶明秦;朱晓;徐晨龙设计研发完成,并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,公开了一种承载装置,用于放置晶圆,包括:底座;至少两个支撑件,固定于底座上,支撑件与底座成角度设置,沿支撑件的长度延伸方向,支撑件上设有多个安装部;多个承载平台,连接于至少两个支撑件的同一高度处的安装部,承载平台与安装部可拆卸连接,承载平台上放置有晶圆。本实用新型通过在支撑件上设有多个安装部,进而将承载平台与安装部可拆卸连接,使得可以根据需要调节承载平台的设置数量以及相邻两个承载平台之间的距离,进而当承载装置用于放置扇出晶圆时,对于翘曲情况严重的扇出晶圆,也能够为后续的自动化传送预留安全空间,方便取出,适用性更好。
本实用新型一种承载装置在权利要求书中公布了:1.一种承载装置,用于放置晶圆,其特征在于,包括: 底座1; 至少两个支撑件2,固定于所述底座1上,所述支撑件2与所述底座1成角度设置,沿所述支撑件2的长度延伸方向,所述支撑件2上设有多个安装部21; 多个承载平台3,连接于至少两个所述支撑件2的同一高度处的所述安装部21,所述承载平台3与所述安装部21可拆卸连接,所述承载平台3上放置有所述晶圆。
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