浙江晶瑞电子材料有限公司欧阳鹏根获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利晶片检测装置及晶片加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224007087U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520513791.1，技术领域涉及：H10P74/00；该实用新型晶片检测装置及晶片加工设备是由欧阳鹏根;盛永江;刘小琴;杨水淼;李佳强;赵阳阳设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片检测装置及晶片加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶片检测装置及晶片加工设备，属于晶片加工技术领域，解决了现有技术晶片缺陷检测误差大的问题。本申请的晶片检测装置包括：基台，基台上设有承载板，承载板用于承载晶片；检测组件，检测组件包括检测相机，检测相机具有在所述承载板上方活动的活动自由度；及移动组件，移动组件包括：第一直线模组，第一直线模组作用于检测相机，以带动所述检测相机在第一方向上移动；第二直线模组，所述第二直线模组作用于所述第一直线模组，以带动所述第一直线模组在第二方向上移动，所述第二方向与所述第一方向互不平行。本申请利用检测相机边移动边拍摄，并通过多组拍摄的照片合成完整的晶片上表面图像，从而提高晶片的缺陷检测精度。
本实用新型晶片检测装置及晶片加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶片检测装置，其特征在于，包括： 基台100，所述基台100上设有承载板110，所述承载板110用于承载晶片； 检测组件200，所述检测组件200包括检测相机210，所述检测相机210具有在所述承载板110上方活动的活动自由度；及 移动组件300，所述移动组件300包括： 第一直线模组310，所述第一直线模组310作用于所述检测相机210，以带动所述检测相机210在第一方向X上移动； 第二直线模组320，所述第二直线模组320作用于所述第一直线模组310，以带动第一直线模组310在第二方向Y上移动，所述第二方向Y与所述第一方向X互不平行。
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