台湾积体电路制造股份有限公司杨柏峰获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利半导体器件和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113054017B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011162351.4,技术领域涉及:H10D30/62;该发明授权半导体器件和方法是由杨柏峰;杨世海;徐志安设计研发完成,并于2020-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件和方法在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体器件和方法。提供了一种半导体器件及其制造方法,其利用金属种子来辅助使铁电层结晶。在实施例中,金属层和铁电层彼此相邻地形成,并且然后金属层扩散到铁电层中。一旦就位,则执行结晶工艺,其利用金属层的材料作为种子晶体。
本发明授权半导体器件和方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件,包括: 界面层,在半导体鳍之上; 结晶的铁电层,与所述界面层实体接触,所述结晶的铁电层包括多个结晶区域,在所述多个结晶区域中的相邻结晶区域之间具有晶粒边界,所述多个结晶区域中的每一者包括多个金属种子之一,其中,所述结晶的铁电层内的所述金属种子的密度在10000个种子μm2和250000个种子μm2之间,并且其中,通过使用添加剂,所述结晶的铁电层的70%和95%之间的材料具有正交结晶相,其中,所述金属种子是至少部分地利用第一退火工艺来将金属材料扩散到铁电层中而形成的,其中,所述金属种子和所述添加剂在不同于所述第一退火工艺的第二退火工艺期间一起作用以使得形成所述结晶的铁电层,并且其中,所述金属种子和所述添加剂是不同的材料;以及 导电堆叠,在所述结晶的铁电层之上。
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