上海悦匠实业有限公司王开兵获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种晶圆预清洁工艺套件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037774U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520561488.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆预清洁工艺套件是由王开兵;熊磊设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆预清洁工艺套件在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆预清洁工艺套件，包括工艺基座和支撑结构，工艺基座的顶部设置有台阶槽；支撑结构包括多组支撑组件，支撑组件包括升降定位针和定位针底座，定位针底座设置于工艺腔体内的底部，升降定位针从工艺基座的上方穿过工艺基座连接定位针底座，并在顶端凸出工艺基座的顶面；真空升降台连接工艺基座带动工艺基座竖直方向移动，工艺基座位于下方时，升降定位针的顶端伸出工艺基座的顶面以支撑传入工艺腔体中的晶圆，工艺基座位于上方进行预清洁时，升降定位针的顶端相对工艺基座下降至与工艺基座的顶面接触，升降定位针的顶端凸出工艺基座的顶面支撑晶圆，使得晶圆背面与工艺基座顶面形成间隙，晶圆的边缘与台阶槽抵接。
本实用新型一种晶圆预清洁工艺套件在权利要求书中公布了：1.一种晶圆预清洁工艺套件，其特征在于，包括工艺基座和支撑结构，所述工艺基座的顶部设置有与晶圆匹配以承载晶圆的台阶槽；所述支撑结构包括多组支撑组件，所述支撑组件包括升降定位针和定位针底座，所述定位针底座设置于工艺腔体内的底部，所述升降定位针从所述工艺基座的上方穿过所述工艺基座连接所述定位针底座，并在顶端凸出所述工艺基座的顶面；真空升降台连接所述工艺基座带动所述工艺基座竖直方向移动，所述工艺基座位于下方时，所述升降定位针的顶端伸出所述工艺基座的顶面以支撑传入工艺腔体中的晶圆，所述工艺基座位于上方进行预清洁时，所述升降定位针的顶端相对所述工艺基座下降至与所述工艺基座的顶面接触，所述升降定位针的顶端凸出所述工艺基座的顶面支撑所述晶圆，使得所述晶圆背面与所述工艺基座顶面形成间隙，所述晶圆的边缘与所述台阶槽抵接。
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