广东芯粤能半导体有限公司叶宇杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东芯粤能半导体有限公司申请的专利机械手臂和湿法清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520697327.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型机械手臂和湿法清洗装置是由叶宇杰;叶果设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械手臂和湿法清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，提供了一种机械手臂和湿法清洗装置，包括：臂主体、夹爪、遮光件、光信号发射单元以及光信号接收单元；光信号发射单元和光信号接收单元相对设置在臂主体上，且位于同一水平线上；其中，光信号发射单元用于发射光信号，光信号接收单元用于接收光信号；遮光件与臂主体转动连接，遮光件的下端延伸至夹爪抓取晶舟的位置，当夹爪夹住晶舟时，使遮光件相对臂主体转动，并使遮光件的上端运动至光信号发射单元和光信号接收单元的中间处，以阻断光信号的传播路径。可以有效阻断光信号发射单元发射的光信号，提高传感器侦测的精度和可靠性，从而降低晶舟夹取状态误判的风险。
本实用新型机械手臂和湿法清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种机械手臂，其特征在于，包括：臂主体、夹爪、遮光件、光信号发射单元以及光信号接收单元； 所述光信号发射单元和所述光信号接收单元相对设置在所述臂主体上，且位于同一水平线上；其中，所述光信号发射单元用于发射光信号，所述光信号接收单元用于接收光信号； 所述遮光件与所述臂主体转动连接，所述遮光件的下端延伸至所述夹爪抓取晶舟的位置，当所述夹爪夹住晶舟时，使所述遮光件相对所述臂主体转动，并使所述遮光件的上端运动至所述光信号发射单元和所述光信号接收单元的中间处，以阻断所述光信号的传播路径。
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