山东强茂电子科技有限公司方廷宇获国家专利权
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龙图腾网获悉山东强茂电子科技有限公司申请的专利一种晶圆镀金属前处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520837062.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆镀金属前处理设备是由方廷宇设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆镀金属前处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆镀金属前处理设备，涉及晶圆清洗技术领域，包括由设备主体、清洗槽、转移机械臂组成的RCA清洗机、花篮组件、循环组件，所述花篮组件包括放置单元、转动单元；所述放置单元用于为晶圆提供摆放支撑与限位；所述转动单元运行时用于带动放置在放置单元内侧的晶圆进行转动操作，实现晶圆与清洗液的充分接触；所述循环组件用于为转动单元的运行提供驱动力。本实用新型通过设置具有转动单元的花篮组件以及循环组件，循环组件用于为转动单元的运行提供驱动力，转动运行的转动单元在摩擦力的作用下带动晶圆转动，使晶圆表面能够全面与清洗液接触，有效避免出现清洗死角的情况，进一步提高了晶圆的清洗效果。
本实用新型一种晶圆镀金属前处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆镀金属前处理设备，包括由设备主体101、清洗槽102、转移机械臂103组成的RCA清洗机1以及为晶圆4提供放置支撑的花篮组件2，所述清洗槽102内嵌安装于设备主体101工作台内部，所述转移机械臂103通过三轴滑台安装于设备主体101内部且分布于清洗槽102上方区域，其特征在于，所述花篮组件2包括放置单元、转动单元；所述放置单元用于为晶圆4提供摆放支撑与限位；所述转动单元运行时用于带动放置在放置单元内侧的晶圆4进行转动操作，实现晶圆4与清洗液的充分接触；所述设备主体101的内部还设置有延伸至清洗槽102内部的循环组件3，所述循环组件3用于为转动单元的运行提供驱动力。
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