广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037808U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520019317.3，技术领域涉及：H10P72/72；该实用新型一种静电卡盘是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种静电卡盘，包括基座以及由上至下依次设置的第一介电层、吸附电极层、第二介电层、射频电极层和第三介电层，所述第三介电层的下表面设置于基座的上表面；所述射频电极层为圆形射频电极层。相较于现有技术使用金属基座作为射频电极，射频电极层位于第二介电层和第三介电层之间，避免硅胶层对射频的屏蔽作用，保证了射频电极的工作效果。同时相较于现有的环形射频电极，所述射频电极层采用圆形结构，布局面积覆盖广，对等离子体分布影响效果更加显著，更有利于增加等离子体分布均匀性，提高工艺制程的一致性。
本实用新型一种静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其特征在于：包括基座1以及由上至下依次设置的第一介电层2、吸附电极层3、第二介电层4、射频电极层5和第三介电层6，所述第三介电层6的下表面设置于基座1的上表面；所述射频电极层5为圆形射频电极层。
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