台湾积体电路制造股份有限公司周崇斌获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利半导体制程工具及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210419482.9，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权半导体制程工具及其操作方法是由周崇斌;庄凯麟;黄圣文;陈衍成;刘俊秀设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制程工具及其操作方法在说明书摘要公布了：一种半导体制程工具及其操作方法，本文所描述的一些实施方案提供用于半导体制程工具的技术及设备，该半导体制程工具包括静电卡盘，具有电压调整系统，该电压调整系统用于调整定位于该静电卡盘上方的半导体基板的整个区域中的电位。该电压调整系统可判定该半导体基板的一区域内的电位不满足临限值。该电压调整系统可基于判定整个该区域中的该电位不满足该临限值来将一或多个导电销定位于该区域内。该一或多个导电销在定位于该区域内时可改变该区域的该电位。
本发明授权半导体制程工具及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程工具操作方法，其特征在于，包含以下步骤： 由一控制器自与由一静电卡盘支撑的一半导体基板的一区域相关联的一感测器接收包括电压量测数据的一第一信号，该静电卡盘包括一电极及一包含多个销导件的阵列，该阵列穿过该电极； 由该控制器基于该电压量测数据来判定该区域的一电位不满足一临限值，判定与定位于该电极上方的该半导体基板的该区域与该半导体制程工具的一组件之间的电弧放电相关联的一条件已经发生； 由该控制器基于判定该电位不满足该临限值来发射： 一第二信号以致使一销定位子系统将多个导电销的一集合的多个顶端定位于该区域内且定位于多个销导件的该阵列中的一或多个销导件的多个出口附近或定位成穿过该些出口；及 一第三信号以激活一电源，使得多个导电销的该集合将一电荷传输至该区域以使得该区域的该电位满足该临限值。
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